Sistema di controllo della temperatura dei liquidi fluorurati

Il sistema di controllo della temperatura di raffreddamento e riscaldamento a liquido fluorurato è ampiamente utilizzato nel processo di produzione dei semiconduttori per controllare la temperatura della camera di reazione, il controllo della temperatura della piastra del dissipatore di calore e il controllo della temperatura del fluido non infiammabile in cui è richiesto il trasferimento di calore. È adatto al processo di produzione dei chip a semiconduttore, ai dispositivi di potenza e al controllo della temperatura di raffreddamento e riscaldamento delle apparecchiature dell'aviazione.

I fluidi fluorurati sono prodotti a bassa tossicità, non infiammabili e ad alte prestazioni che non influiscono sullo sviluppo sostenibile dell'ambiente e possono ridurre le emissioni di gas serra. Allo stesso tempo, in base alle caratteristiche di volatilità del liquido fluorurato, la progettazione del giunto e la progettazione della tenuta del sistema sono rafforzate per garantire la durata del fluido.