Sistema di controllo della temperatura del liquido fluorurato

Il sistema di controllo della temperatura di raffreddamento e riscaldamento del liquido fluorurato è ampiamente utilizzato nel processo di produzione dei semiconduttori per controllare la temperatura della camera di reazione, il controllo della temperatura della piastra del dissipatore di calore e il controllo della temperatura del fluido non infiammabile dove è richiesto il trasferimento di calore . È adatto per il processo di produzione di chip semiconduttori, dispositivi di potenza e controllo della temperatura di raffreddamento e riscaldamento dell'avionica nelle apparecchiature.

I fluidi fluorurati sono prodotti a bassa tossicità, non infiammabili e ad alte prestazioni che non influiscono sullo sviluppo sostenibile dell'ambiente e possono ridurre le emissioni di gas serra. Allo stesso tempo, in base alle caratteristiche volatili del liquido fluorurato, il design del giunto e il design della tenuta del sistema sono rafforzati per garantire la durata del mezzo.