FLT 5℃~-40℃

Controllo della temperatura dei semiconduttori

refrigeratore di raffreddamento refrigeratore per semiconduttori

L'applicazione principale è il controllo accurato della temperatura nel processo di produzione dei semiconduttori e nel processo di test.

Il metodo di riscaldamento è entro i 40°C e utilizza il gas caldo del compressore per riscaldare il concentrato.

Il sistema di circolazione adotta un design completamente sigillato e la pompa di circolazione adotta una pompa a trascinamento magnetico.

Test dell'ammoniaca e test di sicurezza per garantire la sicurezza, l'affidabilità e la prosperità del sistema;

Dopo 24 ore di funzionamento continuo della copiatrice

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Controllo della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori

Il metodo di riscaldamento entro 40 ℃ adotta un compressore per il riscaldamento a gas caldo completamente chiuso e la macchina funziona ininterrottamente per 24 ore.

Garantire la stabilità e l'affidabilità del flusso complessivo del processo dei semiconduttori, dal front-end al back-end.

Dettagli sulla configurazione

Modello	ETCU-005W	ETCU-008W	ETCU-015W	ETCU-030W
Intervallo di temperatura	Temperatura dell'acqua di raffreddamento +5℃~90℃ ±0,3℃
Temperatura dell'acqua di raffreddamento	7℃~30℃ Utilizzare la valvola di regolazione Siemens/Honeywell per controllare il flusso dell'acqua di raffreddamento
Capacità di raffreddamento	5kw	8kw	15kw	30kw
	Condizioni di prova: Al massimo volume di circolazione, la differenza di temperatura tra la temperatura di controllo della temperatura e la temperatura dell'acqua di raffreddamento è di 15°C.
Flusso della pompa di circolazione	7~20L/min 5bar	7~20L/min 5bar	15~40L/min 5bar	20~60L/min 5bar
Volume del serbatoio	6L	8L	10L	15L
Dimensione	480750390	480750390	480750390	480750500
Potenza	220V 50HZ/60hz 0,6kw		220V 50HZ/60hz1.3kw	220V 50HZ/60hz 1.6kw

Descrizione del prodotto

Il dispositivo di controllo della temperatura dei semiconduttori Chiller è utilizzato principalmente per il controllo preciso della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori. I suoi prodotti comprendono il controllo della temperatura del liquido fluorurato (minimo -100 gradi), il cambio rapido di temperatura del gas di raffreddamento e riscaldamento, il mandrino a cambio rapido di temperatura, la macchina di refrigerazione del gas a bassa temperatura (-120 gradi), l'unità di refrigerazione a raffreddamento diretto (-150 gradi), ecc. L'azienda applica vari algoritmi (PID, PID feedforward e algoritmo ad albero autocostruito model free) nel sistema per ottenere una risposta rapida e un'elevata precisione di controllo.

Informazioni importanti come la temperatura (pressione) di scarico e di aspirazione, la temperatura di condensazione, la temperatura (pressione) dell'acqua di raffreddamento, la temperatura (pressione) del liquido (gas) in ingresso e in uscita, la potenza elettrica, la corrente e la tensione di ciascun componente e il livello del serbatoio dell'acqua del refrigeratore sono tutti gestiti, monitorati e registrati in modo completo attraverso sensori collegati al sistema di controllo.

Scenari applicativi del controllo della temperatura nel processo dei semiconduttori

refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione sulle apparecchiature Fab

Raffreddatore a canale singolo raffreddato ad aria, progettato principalmente per le macchine di incisione. Viene utilizzato per fornire un controllo indipendente della temperatura delle pareti laterali della camera.

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