Per migliorare il tasso di rendimento dei prodotti e garantire la redditività, il controllo della qualità deve essere effettuato in ogni fase dell'industria dei semiconduttori. Un fattore importante che influisce sulla qualità del prodotto è la temperatura, e la stabilità e l'accuratezza della temperatura sono molto importanti per garantire prodotti stabili e affidabili. Garantire la stabilità e l'affidabilità del flusso complessivo del processo dei semiconduttori, dal front-end al back-end.
Raffreddatore a canale singolo raffreddato ad aria, progettato principalmente per le macchine di incisione. Viene utilizzato per fornire un controllo indipendente della temperatura delle pareti laterali della camera.
Può essere utilizzato nei processi di lavorazione: ossidazione, rivestimento con colla, fotolitografia, sviluppo, incisione, impiantazione ionica, rimozione della colla, deposizione di film, CMP, pulizia.
LNEYA Refrigeratore raffreddato ad aria o refrigeratore raffreddato ad acqua
