YQH 0℃~-75℃

Cattura e recupero della condensazione dei gas di scarico；Purificazione dei gas di scarico dei semiconduttori

Refrigeratori di prova per semiconduttori

Pressione della zona fredda8 Bar
Acqua di raffreddamento @25℃1300L/H~3000L/H 1BAR~4BAR
Potenza3kW~8kW

recupero del gas Lavasciuga locale COV

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Cattura e recupero dei gas di condensazione VOCS

Adatto per il recupero di vari gas volatili COV; raffreddamento rapido, alta efficienza, soddisfa diversi requisiti di temperatura di condensazione, la bassa temperatura può raggiungere i -75°C.

Da dove provengono i gas nocivi?

Il problema deriva principalmente dai processi di pulizia, livellamento della colla, rimozione della colla, incisione e sviluppo della produzione di chip o schede di circuito.

elevato volume di scarico e bassa concentrazione di emissioni

Il processo principale di produzione dei circuiti integrati produce una grande quantità di gas di scarto acido-base, arsano, fosfina, organici e altri gas di processo. È necessario uno scrubber locale per la cattura e il recupero della condensazione dei gas di scarico.

I gas di scarico organici provengono principalmente da processi di pulizia, CVD, fotolitografia, incisione a umido, degommatura e diffusione. I tipi di gas di scarico organici includono principalmente alcool isopropilico, acetone, acetato di glicole propilenico monometilico, lattato di etile, acetato di butile, aromatici pesanti, ecc.

parametro

Modello	YQH-3520EXd YQH-3520Wexd	YQH-7520EXd YQH-7520WEXd	YQH-3530EXd YQH-3530WEXd	YQH-7530EXd YQH-7530WEXd
Flusso di gas	20m3/h	20m3/h	30m3/h	30m3/h
Temperatura più bassa	-35℃	-75℃	-35℃	-75℃
Temperatura del primo livello	0℃	0℃	0℃	0℃
Pressione della cella frigorifera	8bar	8bar	8bar	8bar
Area di scambio termico	3m2*2	3m2*2	5m2*2	5m2*2
Materiale dello scambiatore di calore	SUS304	SUS304	SUS304	SUS304
Monitoraggio della pressione	Monitoraggio e protezione della pressione di blocco antighiaccio per l'ingresso e l'uscita delle trappole di evaporazione primarie e secondarie
Controllo dello sbrinamento	Il controllo dello sbrinamento può essere effettuato in base al monitoraggio della pressione.
Diametro ingresso aria	DN40 PN16	DN40 PN16	DN50 PN16	DN50 PN16
Serbatoio di stoccaggio dei liquidi di recupero	10L Installazione opzionale della pompa di trasferimento a recupero		15L Installazione opzionale della pompa di trasferimento a recupero
Diametro dell'attacco di drenaggio	G1/2	G1/2	G1/2	G1/2
Sistema di controllo	PLC Siemens
Visualizzazione e registrazione	Schermo tattile a colori da 7 pollici
Compressore	Compressore flessibile Emerson Copeland Scroll (antideflagrante e incapsulato in resina epossidica)
Alimentazione 380V 50HZ MAX	3,5KW	5KW	4KW	6KW
Dimensione	80012001850	80012001850	100015001850	100015001850
Acqua di raffreddamento (raffreddamento ad acqua)20	1800L/H 1BAR~4BAR G3/4		3000L/H 1BAR~4BAR G3/4

principio di funzionamento

Introdurre il gas volatile VOCS nella scatola fredda dell'apparecchiatura (il dispositivo è impostato su una temperatura di condensazione di 3°C-40°C-75°C-115°C). Altre zone di temperatura possono essere personalizzate per seguire le esigenze di condensazione e liquefazione graduale. Alcuni processi di produzione continua prevedono un processo di commutazione a doppio canale nella sezione a bassa temperatura (dopo che un lato è stato bloccato dal ghiaccio, si passa direttamente all'altro canale per lo scambio di calore e la condensazione nella cella frigorifera e, allo stesso tempo, il blocco del ghiaccio viene testato per il trattamento di sbrinamento).

Personalizzato 25 BAR

Resistenza alla pressione del sistema di scambio termico

-40~-75℃

Soddisfare le diverse temperature

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MD -75℃～225℃
INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …
FLT-100℃~80℃ a bassa temperatura in cascata
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
FLTZ -30℃~40℃ Serie a doppia conversione di frequenza
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 15~45/min 6bar max Gamma di potenza 380V 3,5kW
FLT -45℃~40℃
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 25~75/min 6bar max Refrigerante R404A Gamma di potenza 380V 3,5kW~16kW