FLT 5℃~-40℃

Utilizzato principalmente per il controllo preciso della temperatura nei processi di produzione e collaudo dei semiconduttori, riscaldando entro i 40°C con il metodo di riscaldamento a gas caldo del compressore.

Refrigeratore di raffreddamento

Precisione della temperatura±0.1℃
Controllo del flusso25~75/min 6bar max
RefrigentR404A
Gamma di potenza380V 3,5kW~16kW

refrigeratore di raffreddamento refrigeratore per semiconduttori

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Controllo della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori

Il metodo di riscaldamento entro 40 ℃ adotta un compressore per il riscaldamento a gas caldo completamente chiuso e la macchina funziona ininterrottamente per 24 ore.

Garantire la stabilità e l'affidabilità del flusso complessivo del processo dei semiconduttori, dal front-end al back-end.

Dettagli sulla configurazione

Modello	FLT-002 FLT-002W	FLT-003 FLT-003W	FLT-004 FLT-004W	FLT-006 FLT-006W	FLT-008 FLT-008W	FLT-010 FLT-010W	FLT-015 FLT-015W
Controllo della temperatura	5℃～40℃
Precisione della temperatura	±0.1℃
Controllo del flusso	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
Capacità di refrigerazione@10℃	6kw	8kw	10kw	15 kw	20kw	25kw	40kw
Volume del liquido di circolazione interno	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Capacità del vaso di espansione	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Refrigerante	R410A
Refrigerante secondario	Olio di silicone, liquido fluorurato, soluzione acquosa di glicole etilenico, DI, ecc. (la temperatura di DI deve essere controllata al di sopra di 10 ℃).
Interfacce di ingresso e di uscita	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G3/4	G1	G1
Uscita acqua di raffreddamento	G1/2	G1/2	G3/4	G1	G1	G1	G1 1/8
Portata dell'acqua di raffreddamento@20℃	1,5 m³/h	2m³/h	2,5 m³/h	4m³/h	4,5 m³/h	5,6 m³/h	9m³/h
alimentazione 380V	3,5kW	4kW	5,5kW	7kW	9,5kW	12kW	16kW
Estensione della temperatura	Aggiungendo un riscaldatore elettrico, è possibile ampliare l'intervallo di temperatura da -25 ℃ a 80 ℃.

Descrizione del prodotto

Il dispositivo di controllo della temperatura dei semiconduttori Chiller è utilizzato principalmente per il controllo preciso della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori. I suoi prodotti comprendono il controllo della temperatura del liquido fluorurato (minimo -100 gradi), il cambio rapido di temperatura del gas di raffreddamento e riscaldamento, il mandrino a cambio rapido di temperatura, la macchina di refrigerazione del gas a bassa temperatura (-120 gradi), l'unità di refrigerazione a raffreddamento diretto (-150 gradi), ecc. L'azienda applica vari algoritmi (PID, PID feedforward e algoritmo ad albero autocostruito model free) nel sistema per ottenere una risposta rapida e un'elevata precisione di controllo.

Informazioni importanti come la temperatura (pressione) di scarico e di aspirazione, la temperatura di condensazione, la temperatura (pressione) dell'acqua di raffreddamento, la temperatura (pressione) del liquido (gas) in ingresso e in uscita, la potenza elettrica, la corrente e la tensione di ciascun componente e il livello del serbatoio dell'acqua del refrigeratore sono tutti gestiti, monitorati e registrati in modo completo attraverso sensori collegati al sistema di controllo.

Il metodo di riscaldamento entro 40 ℃ adotta il riscaldamento a gas caldo del compressore.

Il sistema di circolazione del refrigeratore adotta un design completamente chiuso e la pompa di circolazione adotta una pompa a trascinamento magnetico.

Test all'elio del refrigeratore 100%, test delle norme di sicurezza 100% per garantire la sicurezza e l'affidabilità del sistema.

Il refrigeratore fa funzionare la fotocopiatrice ininterrottamente per 24 ore a 100%.

refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione sulle apparecchiature Fab

Raffreddatore a canale singolo raffreddato ad aria, progettato principalmente per le macchine di incisione. Viene utilizzato per fornire un controllo indipendente della temperatura delle pareti laterali della camera.

Applicazioni

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