FLT -25℃~-40℃

Utilizzato principalmente per il controllo preciso della temperatura nei processi di produzione e collaudo dei semiconduttori, riscaldando entro i 40°C con il metodo di riscaldamento a gas caldo del compressore.

Refrigeratori di prova per semiconduttori

Precisione della temperatura±0.1℃
Controllo del flusso25~75/min 6bar max
RefrigentR404A
Gamma di potenza380V 3kW~17kW

refrigeratore di raffreddamento refrigeratore per semiconduttori

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Controllo della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori

Il metodo di riscaldamento entro 40 ℃ adotta un compressore per il riscaldamento a gas caldo completamente chiuso e la macchina funziona ininterrottamente per 24 ore.

Garantire la stabilità e l'affidabilità del flusso complessivo del processo dei semiconduttori, dal front-end al back-end.

Dettagli sulla configurazione

Modello	FLT-202 FLT-202W	FLT-203 FLT-203W	FLT-204 FLT-204W	FLT-206 FLT-206W	FLT-208 FLT-208W	FLT-210 FLT-210W	FLT-215 FLT-215W
Intervallo di temperatura	-25℃～40℃
Precisione del controllo della temperatura	±0.1℃
Controllo del flusso	10～25L/min ±0,3		15～45L/min ±0,3			25～75L/min ±0,3
Controllo del flusso	Il controllo del flusso è regolato da un convertitore di frequenza e la pressione massima della pompa di circolazione è di 5 bar.
Refrigerazione @-15℃	2kw	3kw	3,8kw	6kw	7,6kw	10kw	15kw
Circolazione interna Volume del fluido	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Volume del vaso di espansione	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
refrigerante	R404A
Refrigerante secondario	Acqua, olio di silicone, liquido fluorurato, soluzione acquosa di glicole etilenico, ecc.
Interfaccia di ingresso e di uscita	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G3/4	G1	G1
Collegamento all'acqua di raffreddamento	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G1	G1	G1 1/8
Flusso d'acqua di raffreddamento@20℃	1,2 m³/H	1,6 m³/H	2,6 m³/H	3,6 m³/H	5,5 m³/H	7m³/H	10,2 m³/H
Potenza 380V	3KW	4KW	6KW	8KW	9KW	13KW	17KW
Espansione della temperatura	Aggiungendo un riscaldatore elettrico, la temperatura può essere estesa a -25℃~80℃.

Descrizione del prodotto

Il dispositivo di controllo della temperatura dei semiconduttori Chiller è utilizzato principalmente per il controllo preciso della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori. I suoi prodotti comprendono il controllo della temperatura del liquido fluorurato (minimo -100 gradi), il cambio rapido di temperatura del gas di raffreddamento e riscaldamento, il mandrino a cambio rapido di temperatura, la macchina di refrigerazione del gas a bassa temperatura (-120 gradi), l'unità di refrigerazione a raffreddamento diretto (-150 gradi), ecc. L'azienda applica vari algoritmi (PID, PID feedforward e algoritmo ad albero autocostruito model free) nel sistema per ottenere una risposta rapida e un'elevata precisione di controllo.

Informazioni importanti come la temperatura (pressione) di scarico e di aspirazione, la temperatura di condensazione, la temperatura (pressione) dell'acqua di raffreddamento, la temperatura (pressione) del liquido (gas) in ingresso e in uscita, la potenza elettrica, la corrente e la tensione di ciascun componente e il livello del serbatoio dell'acqua del refrigeratore sono tutti gestiti, monitorati e registrati in modo completo attraverso sensori collegati al sistema di controllo.

refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione sulle apparecchiature Fab

Raffreddatore a canale singolo raffreddato ad aria, progettato principalmente per le macchine di incisione. Viene utilizzato per fornire un controllo indipendente della temperatura delle pareti laterali della camera.

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MD -75℃～225℃
INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …
YQH 0℃~-75℃
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
FLT-100℃~80℃ a bassa temperatura in cascata
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
FLTZ -30℃~40℃ Serie a doppia conversione di frequenza
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 15~45/min 6bar max Gamma di potenza 380V 3,5kW