Thermal Chillers for Semiconductor ATE & Process

Advanced liquid temperature control technology, actively exploring and researching component test systems, mainly used for temperature test simulation in pharmaceutical chemicals, new energy, semiconductors, and aerospace testing, with wide temperature direction and high temperature rise and fall, temperature range: -80°C~+90°C, temperature control accuracy up to: ±0.05℃, suitable for various test requirements.

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Applicazioni

Temperature control system for production process and testing links.
Applied in semiconductors, LEDs, LCDs, solar photovoltaics and other fields;
The variable frequency pump can adjust the circulating fluid pressure and flow, Circulation heating can be achieved without a heater;
Multi-channel independent temperature control, no mutual influence.

Come i refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione delle apparecchiature Fab.

Raffreddamento dei sensori CMOS/CCD nei sistemi di metrologia dei semiconduttori.

Refrigeratore a ricircolo per il sistema AOI di misurazione dei semiconduttori.

Raffreddatore a canale singolo raffreddato ad aria, progettato principalmente per le macchine di incisione. Viene utilizzato per fornire un controllo indipendente della temperatura delle pareti laterali della camera.

Utilizzato per incisione e deposizione di smussi al plasma; incisione termica di strati atomici di tungsteno metallico.

Serie di conversione di frequenza FLTZ

Temperature control range: -45℃～+90℃

The chiller’s exhaust and suction temperature (pressure), condensing temperature, cooling water temperature (pressure), inlet and outlet liquid (gas) temperature (pressure), power consumption, current of each component, voltage, water tank level and other important information are all connected to the control system through sensors for comprehensive management, monitoring and recording.

Inquiry @ sales@cnzlj.com

Modello	5℃～90℃	-25℃～90℃	-45℃～90℃	-80℃～+90℃	-100℃～+90℃
Precisione del controllo della temperatura	±0.05℃	±0.05℃	±0.05℃	±0.05℃	±0.05℃
Capacità di raffreddamento	6KW~40KW @10℃	2KW~15KW @-15℃	1KW~8KW @-35℃	0.6KW~3KW @-70℃	1.5KW~3KW @-90℃

Rated test conditions for all equipment: Dry bulb temperature: 20℃; Wet bulb temperature: 16℃. Inlet water temperature: 20℃; Outlet water temperature: 25℃.

FLTZ Frequency Conversion Multi-channel Series

Temperature control range: -45℃～+100℃

Multi channel independent temperature control, which can have a separate temperature range, cooling and heating capacity, thermal conductivity medium flow rate, etc., adopts two independent systems.

The system can be used for universal expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and operation steps.

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Modello	-20℃～+90℃	-45℃～+80℃	-10℃～+80℃	-25℃～+100℃
Pipeline	channel 2	channel 2	channel 3	channel 3
Precisione del controllo della temperatura	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
Capacità di raffreddamento	4kW@-10℃	11kW@-20℃ 5kW@-40℃	4kW@-10℃/21kW@+20℃	13kW@PCW+15℃
Heating capacity	2kW	2kW	4.5+6kW	6kW

Modello	FLTZ-203W/2T dual system		FLTZ-305W/2T dual system		FLTZ-406W/2T dual system
Intervallo di temperatura	-20℃~90℃		-30℃~90℃		-45℃~90℃
Precisione del controllo della temperatura	±0.1℃
Heat conducting medium flow rate	15~45l/min 6bar max
Heating capacity	2,5kW	2,5kW	2,5kW	2,5kW	3,5kW	3,5kW
Capacità di raffreddamento	3kW @-15℃	3kW @-15℃	5kW @-15℃	5kW @-15℃	2.5kW @-35℃	2.5kW @-35℃

Rated test conditions for all equipment: dry bulb temperature: 20℃; wet bulb temperature: 16℃. Inlet water temperature: 20℃; outlet water temperature: 25℃.

ETCU Heat Exchange Chiller Series

Adopting compressor-free refrigeration system

temperature control range is: 5℃～+90℃

temperature control accuracy: ±0.05℃

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Modello	ETCU-005W	ETCU-015W	ETCU-030W	ETCU-050W	ETCU-100W	ETCU-200W	ETCU-300W
Intervallo di temperatura	Cooling water temperature +5℃~90℃
Precisione del controllo della temperatura	±0,05℃（Temperatura di uscita a stato stazionario）
Temperatura dell'acqua di raffreddamento	7℃~30℃ Cooling water flow is controlled by Siemens/Honeywell regulating valves
Capacità di raffreddamento	5kW	15kW	30kW	50kW	100kW	200kW	300kW

Rated test conditions for all equipment: dry bulb temperature: 20℃; wet bulb temperature: 16℃. Inlet water temperature: 20℃; outlet water temperature: 25℃.

AES Series Thermal Stream

Thermal Solutions for ATE testing

temperature control range is: -115℃~225℃

temperature control accuracy: ±0.1℃

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Modello	AES-4535 AES-4535W	AES-6035 AES-6035W	AES-8035 AES-8035W	AES-A1035W	AES-A1235W
Intervallo di temperatura	-40℃～225℃	-60℃～225℃	-80℃～225℃	-100℃～225℃	-120℃～225℃
Precisione della temperatura	±0.1℃（Steady state outlet temperature）
Requisiti dell'aria	Air filter < 5um air oil content < 0.1um air temp and humidity：5℃-32℃ 0-50%RH
Air treatment capacity	10m³/h-m³/h pressure 5bar-7.6bar

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refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione sulle apparecchiature Fab

advantages

Risultati efficienti in termini di stabilità e ripetibilità della produzione;
Utilizzo di scambiatori di calore a piastre e riscaldatori in tubazione per migliorare i tassi di raffreddamento e riscaldamento;
Intervallo di temperatura molto ampio, senza necessità di sostituire il mezzo liquido;
Sistema completamente chiuso, che prolunga la durata dei liquidi termoconduttivi;
Adottando una pompa a trascinamento magnetico, non vi è alcun problema di perdita della tenuta dell'albero;
Tecnologia di raffreddamento ad alta temperatura, avvia direttamente il compressore per raffreddarsi a 300 ℃.

La pompa a frequenza variabile può regolare la pressione e la portata idraulica in circolazione

Heating function

Due to the use of heat generated during heating, circulating heating can be achieved without the need for a heater.

Funzione di comunicazione

Standard equipment includes serial communication (RS232C, RS485) and contact input/output. Can communicate with customer devices or build systems.

client output signal

Customized Chiller Solutions

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