Heat Exchange Chiller (Semiconductor temperature control )

ETCU 5℃~90℃

High-precision Cold Heat Chiller

refrigeratore di raffreddamento refrigeratore per semiconduttori

Temp Range: +5℃~90℃ ±0.3℃

Cooling Capacity: 5kw~30kw

Tank volume: 6L~15L

Power: 06KW~1.6KW

RICHIESTA

Controllo della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori

Il metodo di riscaldamento entro 40 ℃ adotta un compressore per il riscaldamento a gas caldo completamente chiuso e la macchina funziona ininterrottamente per 24 ore.

Garantire la stabilità e l'affidabilità del flusso complessivo del processo dei semiconduttori, dal front-end al back-end.

Dettagli sulla configurazione

Modello	ETCU-005W	ETCU-015W	ETCU-030W	ETCU-050W	ETCU-100W	ETCU-200W	ETCU-300W
Intervallo di temperatura	Cooling water temperature +5℃~90℃
Precisione del controllo della temperatura	±0.05℃ (outlet temperature steady state)
Temperatura dell'acqua di raffreddamento	7℃~30℃ Utilizzare la valvola di regolazione Siemens/Honeywell per controllare il flusso dell'acqua di raffreddamento
Capacità di raffreddamento	5kw	15kw	30kw	50kw	100kw	200kw	300kw
Circulating pump flow	Test conditions: At maximum circulation, the temperature difference between the control temperature and the cooling water temperature is 15°C
Storage tank volume	7~20L/min 5bar	15~40L/min 5bar	20~60L/min 5bar	40~110L/min 5bar	150~250L/min 5bar	250~500L/min 5bar	400~650L/min 5bar
Dimensions	5L	10L	20L	30L	60L	120L	240L
Dimensions	480750390	480750390	480750500	Customization	Customization	Customization	Customization

Descrizione del prodotto

Il dispositivo di controllo della temperatura dei semiconduttori Chiller è utilizzato principalmente per il controllo preciso della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori. I suoi prodotti comprendono il controllo della temperatura del liquido fluorurato (minimo -100 gradi), il cambio rapido di temperatura del gas di raffreddamento e riscaldamento, il mandrino a cambio rapido di temperatura, la macchina di refrigerazione del gas a bassa temperatura (-120 gradi), l'unità di refrigerazione a raffreddamento diretto (-150 gradi), ecc. L'azienda applica vari algoritmi (PID, PID feedforward e algoritmo ad albero autocostruito model free) nel sistema per ottenere una risposta rapida e un'elevata precisione di controllo.

Informazioni importanti come la temperatura (pressione) di scarico e di aspirazione, la temperatura di condensazione, la temperatura (pressione) dell'acqua di raffreddamento, la temperatura (pressione) del liquido (gas) in ingresso e in uscita, la potenza elettrica, la corrente e la tensione di ciascun componente e il livello del serbatoio dell'acqua del refrigeratore sono tutti gestiti, monitorati e registrati in modo completo attraverso sensori collegati al sistema di controllo.

L'applicazione principale è il controllo accurato della temperatura nel processo di produzione dei semiconduttori e nel processo di test.

Il metodo di riscaldamento è entro i 40°C e utilizza il gas caldo del compressore per riscaldare il concentrato.

Il sistema di circolazione adotta un design completamente sigillato e la pompa di circolazione adotta una pompa a trascinamento magnetico.

Test dell'ammoniaca e test di sicurezza per garantire la sicurezza, l'affidabilità e la prosperità del sistema;

Dopo 24 ore di funzionamento continuo della copiatrice

Scenari applicativi del controllo della temperatura nel processo dei semiconduttori

refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione sulle apparecchiature Fab

Raffreddatore a canale singolo raffreddato ad aria, progettato principalmente per le macchine di incisione. Viene utilizzato per fornire un controllo indipendente della temperatura delle pareti laterali della camera.

Applicazioni

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