Il metodo di riscaldamento entro 40 ℃ adotta un compressore per il riscaldamento a gas caldo completamente chiuso e la macchina funziona ininterrottamente per 24 ore.

Garantire la stabilità e l'affidabilità del flusso complessivo del processo dei semiconduttori, dal front-end al back-end.

Descrizione del prodotto

Il dispositivo di controllo della temperatura dei semiconduttori Chiller è utilizzato principalmente per il controllo preciso della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori. I suoi prodotti comprendono il controllo della temperatura del liquido fluorurato (minimo -100 gradi), il cambio rapido di temperatura del gas di raffreddamento e riscaldamento, il mandrino a cambio rapido di temperatura, la macchina di refrigerazione del gas a bassa temperatura (-120 gradi), l'unità di refrigerazione a raffreddamento diretto (-150 gradi), ecc. L'azienda applica vari algoritmi (PID, PID feedforward e algoritmo ad albero autocostruito model free) nel sistema per ottenere una risposta rapida e un'elevata precisione di controllo.

Informazioni importanti come la temperatura (pressione) di scarico e di aspirazione, la temperatura di condensazione, la temperatura (pressione) dell'acqua di raffreddamento, la temperatura (pressione) del liquido (gas) in ingresso e in uscita, la potenza elettrica, la corrente e la tensione di ciascun componente e il livello del serbatoio dell'acqua del refrigeratore sono tutti gestiti, monitorati e registrati in modo completo attraverso sensori collegati al sistema di controllo.

Il metodo di riscaldamento entro 40 ℃ adotta il riscaldamento a gas caldo del compressore.

Il sistema di circolazione del refrigeratore adotta un design completamente chiuso e la pompa di circolazione adotta una pompa a trascinamento magnetico.

Test all'elio del refrigeratore 100%, test delle norme di sicurezza 100% per garantire la sicurezza e l'affidabilità del sistema.

Il refrigeratore fa funzionare la fotocopiatrice ininterrottamente per 24 ore a 100%.

refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione sulle apparecchiature Fab

Raffreddatore a canale singolo raffreddato ad aria, progettato principalmente per le macchine di incisione. Viene utilizzato per fornire un controllo indipendente della temperatura delle pareti laterali della camera.

Dettagli sulla configurazione

Modello	FLTZ-002 FLTZ-002W	FLTZ-003 FLTZ-003W	FLTZ-004 FLTZ-004W	FLTZ-006 FLTZ-006W	FLTZ-008 FLTZ-008W	FLTZ-010 FLTZ-010W	FLTZ-015 FLTZ-015W
Controllo della temperatura	5℃～90℃
Precisione della temperatura	±0.05℃
Controllo del flusso	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
Capacità di refrigerazione@10℃	6kw	8kw	10kw	15 kw	20kw	25kw	40kw
Volume del liquido di circolazione interno	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Capacità del vaso di espansione	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Refrigerante	R410A
Refrigerante secondario	Olio di silicone, liquido fluorurato, soluzione acquosa di glicole etilenico, DI, ecc. (la temperatura di DI deve essere controllata al di sopra di 10 ℃).
Interfacce di ingresso e di uscita	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
Uscita acqua di raffreddamento	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
Portata dell'acqua di raffreddamento@20℃	1,5 m³/h	2m³/h	2,5 m³/h	4m³/h	4,5 m³/h	5,6 m³/h	9m³/h
alimentazione 380V	3,5kW	4kW	5,5kW	7kW	9,5kW	12kW	16kW
Estensione della temperatura	Aggiungendo un riscaldatore elettrico, è possibile ampliare l'intervallo di temperatura da -25 ℃ a 80 ℃.

Modello	FLTZ-202 FLTZ-202W	FLTZ-203 FLTZ-203W	FLTZ-204 FLTZ-204W	FLTZ-206 FLTZ-206W	FLTZ-208 FLTZ-208W	FLTZ-210 FLTZ-210W	FLTZ-215 FLTZ-215W
Intervallo di temperatura	-25℃～90℃
Precisione del controllo della temperatura	±0.05℃
Controllo del flusso	10～25L/min ±0,3		15～45L/min ±0,3			25～75L/min ±0,3
Controllo del flusso	Il controllo del flusso è regolato da un convertitore di frequenza e la pressione massima della pompa di circolazione è di 5 bar.
Refrigerazione @-15℃	2kw	3kw	3,8kw	6kw	7,6kw	10kw	15kw
Circolazione interna Volume del fluido	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Volume del vaso di espansione	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
refrigerante	R404A
Refrigerante secondario	Acqua, olio di silicone, liquido fluorurato, soluzione acquosa di glicole etilenico, ecc.
Interfaccia di ingresso e di uscita	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
Collegamento all'acqua di raffreddamento	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
Flusso d'acqua di raffreddamento@20℃	1,2 m³/H	1,6 m³/H	2,6 m³/H	3,6 m³/H	5,5 m³/H	7m³/H	10,2 m³/H
Potenza 380V	3KW	4KW	6KW	8KW	9KW	13KW	17KW
Espansione della temperatura	Aggiungendo un riscaldatore elettrico, la temperatura può essere estesa a -25℃~80℃.

Modello	FLTZ-402FLTZ-402W	FLTZ-403FLTZ-403W	FLTZ-404FLTZ-404W	FLTZ-406FLTZ-406W	FLTZ-408FLTZ-408W	FLTZ-410FLTZ-410W	FLTZ-415FLTZ-415W
Controllo della temperatura	-45℃～90℃
Precisione del controllo della temperatura	±0.05℃
Controllo del flusso	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
Riscaldamento	Il riscaldamento del compressore viene utilizzato per prevenire la tecnologia di congelamento del condensatore.
Capacità di refrigerazione @-35℃	1kw	1,4kw	1,8kw	2,5kw	3,3kw	5kw	8kw
Volume del fluido di circolazione interno	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Volume del vaso di espansione	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Refrigerante	R404A
Refrigerante secondario	Acqua, olio di silicone, liquido fluorurato, soluzione acquosa di glicole etilenico, ecc.
Interfaccia di ingresso e di uscita	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG3/4
Collegamento all'acqua di raffreddamento	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
Flusso di acqua di raffreddamento @20℃	1,5m³/H	2,4 m³/H	3,5 m³/H	5m³/H	5,5 m³/H	6m³/H	8m³/H
Potenza 380V	3KW	4KW	6KW	7,5KW	9KW	12KW	15KW
Espansione della temperatura	Aggiungendo un riscaldatore elettrico, la temperatura può essere estesa a -25℃~80℃.

Funzione di comunicazione

Standard equipment includes serial

Communication (RS232C, RS485) and contact input/output. Can communicate with customer devices or build systems.

segnale di uscita del cliente

Inviateci la vostra richiesta e vi contatteremo entro 24 ore.

consigliare i prodotti

FLT-100℃~90℃
Raffreddatore a canale singolo raffreddato ad aria, progettato principalmente per le macchine di incisione. Viene utilizzato per fornire un controllo indipendente della temperatura delle pareti laterali della camera.

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