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Conventional Type FLT -45℃~80℃

Semiconductor Production & Testing Process Chiller

Conventional type FLT -45℃~80℃
  • Precisione della temperatura±0.1℃
  • Controllo del flusso25~75/min 6bar max
  • RefrigentR404A
  • Gamma di potenza380V 3,5kW~16kW

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Il metodo di riscaldamento entro 40 ℃ adotta un compressore per il riscaldamento a gas caldo completamente chiuso e la macchina funziona ininterrottamente per 24 ore.

Dettagli sulla configurazione

Modello

FLT-002

FLT-002W

FLT-003

FLT-003W

FLT-004

FLT-004W

FLT-006

FLT-006W

FLT-008

FLT-008W

FLT-010

FLT-010W

FLT-015

FLT-015W

Controllo della temperatura

 5℃~40℃

Precisione della temperatura

±0.05℃  

Controllo del flusso  

10~25L/min 5bar max

15~45L/min 6bar max

25~75L/min 6bar max

Capacità di refrigerazione@10℃

 6kw

 8kw

 10kw

15 kw

 20kw

 25kw

 40kw

Volume del liquido di circolazione interno

4L

5L

6L

8L

10L

12L

20L

Capacità del vaso di espansione

10L

10L

15L

15L

20L

25L

35L

Refrigerante

R410A

Refrigerante secondario

Olio di silicone, liquido fluorurato, soluzione acquosa di glicole etilenico, DI, ecc. (la temperatura di DI deve essere controllata al di sopra di 10 ℃).

Interfacce di ingresso e di uscita

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG3/4

ZG1

ZG1

Uscita acqua di raffreddamento

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG1

ZG1

ZG1

ZG1 1/8

Portata dell'acqua di raffreddamento@20℃

1,5 m³/h

2m³/h

2,5 m³/h

4m³/h

4,5 m³/h

5,6 m³/h

9m³/h

alimentazione 380V

3,5kW

4kW

5,5kW

7kW

9,5kW

12kW

16kW

Estensione della temperatura

Aggiungendo un riscaldatore elettrico, è possibile ampliare l'intervallo di temperatura da -25 ℃ a 80 ℃.

Modello

FLT-202

FLT-202W

FLT-203

FLT-203W

FLT-204

FLT-204W

FLT-206

FLT-206W

FLT-208

FLT-208W

FLT-210

FLT-210W

FLT-215

FLT-215W

Intervallo di temperatura

-25℃~40℃

Precisione del controllo della temperatura

±0.05℃  

Controllo del flusso  

10~25L/min ±0,3

15~45L/min ±0,3

25~75L/min ±0,3

Il controllo del flusso è regolato da un convertitore di frequenza e la pressione massima della pompa di circolazione è di 5 bar.

Refrigerazione

@-15℃

2kw

3kw

3,8kw

6kw

7,6kw

10kw

15kw

Circolazione interna Volume del fluido

4L

5L

6L

8L

10L

12L

20L

Volume del vaso di espansione

10L

10L

15L

15L

20L

25L

35L

refrigerante

R404A

Refrigerante secondario

Acqua, olio di silicone, liquido fluorurato, soluzione acquosa di glicole etilenico, ecc.

Interfaccia di ingresso e di uscita

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG3/4

ZG1

ZG1

Collegamento all'acqua di raffreddamento

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG1

ZG1

ZG1 1/8

Flusso d'acqua di raffreddamento@20℃

1,2 m³/H

1,6 m³/H

2,6 m³/H

3,6 m³/H

5,5 m³/H

7m³/H

10,2 m³/H

Potenza 380V

3KW

4KW

6KW

8KW

9KW

13KW

17KW

Espansione della temperatura

Aggiungendo un riscaldatore elettrico, la temperatura può essere estesa a -25℃~80℃.

Modello

FLT-402

FLT-402W

FLT-403

FLT-403W

FLT-404

FLT-404W

FLT-406

FLT-406W

FLT-408

FLT-408W

FLT-410

FLT-410W

FLT-415

FLT-415W

Controllo della temperatura

 -45℃~40℃

Precisione del controllo della temperatura

±0.05℃  

Controllo del flusso  

10~25L/min 5bar max

15~45L/min 6bar max

25~75L/min 6bar max

Riscaldamento

Il riscaldamento del compressore viene utilizzato per prevenire la tecnologia di congelamento del condensatore.

Capacità di refrigerazione

@-35℃

1kw

1,4kw

1,8kw

2,5kw

3,3kw

5kw

8kw

Volume del fluido di circolazione interno

4L

5L

6L

8L

10L

12L

20L

Volume del vaso di espansione

10L

10L

15L

15L

20L

25L

35L

Refrigerante

R404A

Refrigerante secondario

Acqua, olio di silicone, liquido fluorurato, soluzione acquosa di glicole etilenico, ecc.

Interfaccia di ingresso e di uscita

ZG1/2

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG3/4

ZG1

ZG3/4

Collegamento all'acqua di raffreddamento

ZG1/2

ZG3/4

ZG3/4

ZG1

ZG1

ZG1

ZG1 1/8

Flusso di acqua di raffreddamento @20℃

1,5m³/H

2,4 m³/H

3,5 m³/H

5m³/H

5,5 m³/H

6m³/H

8m³/H

Potenza 380V

3KW

4KW

6KW

7,5KW

9KW

12KW

15KW

Espansione della temperatura

Aggiungendo un riscaldatore elettrico, la temperatura può essere estesa a -25℃~80℃.

Descrizione del prodotto

Il dispositivo di controllo della temperatura dei semiconduttori Chiller è utilizzato principalmente per il controllo preciso della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori. I suoi prodotti comprendono il controllo della temperatura del liquido fluorurato (minimo -100 gradi), il cambio rapido di temperatura del gas di raffreddamento e riscaldamento, il mandrino a cambio rapido di temperatura, la macchina di refrigerazione del gas a bassa temperatura (-120 gradi), l'unità di refrigerazione a raffreddamento diretto (-150 gradi), ecc. L'azienda applica vari algoritmi (PID, PID feedforward e algoritmo ad albero autocostruito model free) nel sistema per ottenere una risposta rapida e un'elevata precisione di controllo.

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