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MD Series Thermal Chuck

Mandrino termico serie MD

APPLICAZIONI

Può ottenere rapidi cambiamenti di temperatura e controllare accuratamente la temperatura. Il sistema stesso è dotato di un frigorifero, evitando il consumo di azoto liquido, anidride carbonica, ecc. Ogni sistema comprende un mandrino e un'unità di controllo del caldo e del freddo.

MD -75℃~225℃

 

Modello MD SERIES
Intervallo di temperatura -75℃~225℃
Precisione del controllo della temperatura ±0,5℃(Temperatura di uscita a regime stabile)
Uniformità della temperatura della piastra ±1℃
Pianezza della piastra ±15um
Cavo di collegamento host e scheda 2,5 m (altre lunghezze possono essere personalizzate)
Trattamento della superficie piatta Nichelatura (opzionale placcatura in oro)
Riscaldamento -60°C to +25°C: 2 min
0°C to +25°C: 2 min
+25°C to +220°C: 6 min
Raffreddamento 220°C to +25°C: 2 min
+25°C to -60°C: 6 min
Sistema di controllo Controller PLC, algoritmo fuzzy PID feedforward per il riscaldamento, valvola di espansione elettronica PID per il raffreddamento
controllo della capacità di raffreddamento
Visualizzazione e registrazione Touch screen a colori da 7 pollici, registrazione della temperatura della curva e allarme
Comunicazione Ethernet interface,TCP/IP protocol
Wafer carrier Nickel-platedgold/non-conductive coating)ithflexible chuckconnectionforeasy carrierlatereplacement
Tipo di adsorbimento del wafer     ensuring surfaceflatnesswithin3um<10um
Power supply 220V50HZ     Vacuum Chuck System
Communication mode     200~230VA50/60HZmax

 

MD series provides an open surface flat work platform with rapid temperature rise and fall and constant temperature control. It is used for RF device and high-density power device testing. It can also be used for rapid cooling of laboratory flat panels (plasma, biological products, batteries), etc. The refrigerant is directly evaporated inside the flat panel, which greatly improves the heat exchange efficiency compared to the liquid cooling method and increases the heat exchange power of the flat panel per unit area.

 

 

APPLICAZIONI

Temperature control solution for Semiconductor packaging and testing process

Il processo di confezionamento e collaudo dei semiconduttori è un anello fondamentale del processo di produzione dei semiconduttori, che comprende il collaudo dei wafer, il confezionamento dei chip e il collaudo post-confezionamento. Questo processo richiede non solo alta precisione e affidabilità, ma anche un rigoroso controllo della temperatura per garantire la qualità e le prestazioni del prodotto.

Materiali aerospaziali | Soluzione per il controllo della temperatura delle apparecchiature di prova

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