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FLTZ 5℃~90℃
I refrigeratori termici LNEYA sono progettati per applicazioni di controllo della temperatura impegnative e supportano la tua attività con tecnologia professionale.
La serie FLTZ 5℃~90℃ offre refrigeratori termici industriali e di processo con un controllo preciso della temperatura. Questi refrigeratori mantengono la temperatura entro ±0.05℃, garantendo prestazioni stabili per processi industriali sensibili.
Ogni unità è dotata di un touchscreen a colori che mostra informazioni chiave in tempo reale. È possibile monitorare la temperatura nei punti di controllo, le pressioni di ingresso e uscita, le temperature dell’acqua di condensazione e raffreddamento, i parametri di liquido e gas, il consumo energetico e i livelli del serbatoio dell’acqua. Questo aiuta a monitorare le prestazioni e a rispondere rapidamente ai cambiamenti.
I refrigeratori termici FLTZ 5℃~90℃ supportano l’integrazione di sistema e il controllo remoto. È possibile collegare il refrigeratore alle apparecchiature per monitorare le operazioni e regolare le impostazioni a distanza. Il design compatto consente di risparmiare spazio a pavimento e offre opzioni di installazione flessibili per diversi ambienti industriali.
| Modello | FLTZ-002 FLTZ-002W | FLTZ-003 FLTZ-003W | FLTZ-004 FLTZ-004W | FLTZ-006 FLTZ-006W | FLTZ-008 FLTZ-008W | FLTZ-010 FLTZ-010W | FLTZ-015 FLTZ-015W |
| Intervallo di temperatura | 5℃～90℃ | ||||||
| Precisione del controllo della temperatura | ±0.05℃（Temperatura di uscita in stato stazionario） | ||||||
| Capacità di raffreddamento @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| Volume del fluido circolante interno | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volume del vaso di espansione | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Refrigerante | R410A | ||||||
| Mezzo refrigerante | Olio di silicone, liquido fluorurato, soluzione acquosa di poliolo, DI, ecc. (la temperatura del DI deve essere controllata sopra 10℃) | ||||||
| Dimensioni del collegamento | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Dimensione della connessione dell'acqua di raffreddamento | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Portata dell'acqua di raffreddamento @20℃ | 1.5m³/h | 2m³/h | 2.5m³/h | 4m³/h | 4.5m³/h | 5.6m³/h | 9m³/h |
| Dimensioni（cm） | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
| Controllo della temperatura del processo | La temperatura target remota può essere controllata combinando il modello auto-creato senza modello con il controllo automatico. Algoritmo di costruzione dell'albero e algoritmo a cascata | ||||||
Può soddisfare i requisiti di processo più rigorosi nella produzione di semiconduttori. Ad esempio, nel processo di fotolitografia, qualsiasi leggera fluttuazione di temperatura provocherà deformazioni termiche del sistema ottico e la stabilità della temperatura determina direttamente il successo o il fallimento della precisione dell'esposizione.
Ha progressivamente sostituito sostanze che riducono lo strato di ozono come R22, soddisfacendo i requisiti del periodo di transizione del Protocollo di Montreal.
Un unico dispositivo sostituisce il tradizionale sistema di riscaldamento/raffreddamento separato, riducendo l’ingombro dell’apparecchiatura e può ottenere rapidi cambiamenti di temperatura senza cambiare il mezzo, migliorando l’efficienza produttiva.
L’alta ripetibilità dei risultati di controllo è l’indicatore di prestazione centrale dei refrigeratori di processo per semiconduttori. Questa caratteristica determina direttamente la resa e la stabilità del processo nella produzione di chip.
Il controllo preciso della temperatura viene ottenuto recuperando il calore residuo nel ciclo di refrigerazione, riflettendo il concetto di progettazione avanzata di ottimizzazione dell’efficienza energetica e integrazione del sistema.
Si adottano compressori, ventilatori e pompe a frequenza variabile per controllare automaticamente il flusso e la pressione di uscita e ridurre il consumo di energia.
Il refrigeratore termico FLTZ 5℃~90℃ è ampiamente utilizzato in scenari applicativi dei semiconduttori che richiedono il controllo della temperatura bidirezionale grazie al suo ampio intervallo di temperatura.
Pulizia delle wafer
La pulizia delle wafer richiede l’uso di liquidi chimici come SC1 (ammoniaca + perossido di idrogeno) e SC2 (acido cloridrico + perossido di idrogeno) e la temperatura di reazione deve essere stabilmente controllata tra 25℃ e 80℃. Il refrigeratore aiuta a controllare la temperatura del serbatoio di pulizia per evitare che lo stress termico causi la deformazione delle wafer e per prevenire il surriscaldamento dell’unità di pompaggio.
Fotolitografia
Le macchine per litografia DUV/EUV sono estremamente sensibili alle fluttuazioni di temperatura, quindi dopo il rivestimento con fotoresist è necessario mantenere un ambiente a temperatura costante specifica. I refrigeratori per semiconduttori possono fornire un ambiente a temperatura costante per le macchine litografiche.
Incisione
• Durante l’incisione a secco, l’alimentatore RF della cavità deve essere mantenuto freddo entro un intervallo di temperatura specifico per evitare il surriscaldamento e la deriva del processo.
Abbiamo servito più di 30.000 clienti.
Esportato in oltre 20 paesi.
Ha ottenuto la certificazione CE, la certificazione SGS e la certificazione ISO.
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