Semiconductor Test Chillers – LNEYA Air cooled chiller or Water cooled chiller

MD -75℃～225℃

lneyaadmindy — Wed, 20 Mar 2024 06:05:00 +0000

Thermal Chuck or Thermal Plate/Thermal Control Unit

MD -75℃～225℃

Refrigeratori di prova per semiconduttori

Precisione della temperatura±0.1℃
Potenza di riscaldamento-60°C to +25°C: 2 min 0°C to +25°C: 2 min +25°C to +220°C: 6 min
Potenza di raffreddamento220°C to +25°C: 2 min +25°C to -60°C: 6 min
Source Power2,8KW
Flat ShapeRound/Square

chiller+chuck

RICHIESTA

Dettagli sulla configurazione

Modello	MD-708	MD-712	MDL-708
Temperatura. Intervallo	-75℃～225℃	-75℃～225℃	-75℃～225℃
Precisione del controllo della temperatura	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
temperature uniformity	±1℃	±1℃	±1℃
Flatness	±50um	±50um	±50um
Tablet Size	200mm diameter disc	300mm diameter disc	150mm*200mm
Host and card cable	2.5m (other lengths can be customized)
Flat surface treatment	Electroplated nickel (optional gold plating)
Heat Up	-60°C to +25°C: 2 min 0°C to +25°C: 2 min +25°C to +220°C: 6 min
Cool Down	220°C to +25°C: 2 min +25°C to -60°C: 6 min
Sistema di controllo	PLC controller, heating feed-forward PID fuzzy algorithm, cooling electronic expansion valve PID adjustment control cooling capacity
Display and Record	7-inch color touch screen, record temperature curve
Comunicazione	Interfaccia Ethernet Protocollo TCP/IP
Refrigeration Compressors	Taikang
Alimentazione	220V 50/60HZ 2.8KW	220V 50/60HZ 4.5KW	220V 50/60HZ 2.8KW
Host size mm	550×650×370	550×650×370	550×650×370

Descrizione del prodotto

MD’s greatest innovation in thermal testing is the series of thermally controlled chucks, which are mainly used for performance testing, modeling, process development, design defect or IC failure analysis of semiconductor wafers. It can realize rapid temperature change and precisely control the temperature. The system itself has its own refrigerator, which avoids the consumption of liquid nitrogen, carbon dioxide, etc., and each system includes a chuck and a cold and hot control unit.

The inside of the plate adopts the direct evaporation method of refrigerant, which greatly improves the heat exchange efficiency and the heat exchange power per unit area of the plate compared with the liquid cooling method.

Caratteristiche:
Rapid cooling/heating rates up to 25°C/min
Built-in refrigerator to avoid the consumption of liquid nitrogen, carbon dioxide, etc. Programmable automation, temperature stability +/-0.1
Controller provides touch screen and remote interface to precisely control and monitor equipment temperature
Display test status – real-time data

Thermal Chuck MD series provides an open flat surface working platform, rapid temperature rise and fall, and constant temperature control, which can be used for testing RF devices and high-density power devices (IGBTSAND MOSFETS), and can also be used for rapid cooling of laboratory flat panels (plasma, biological products, batteries), etc.

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YQH 0℃~-75℃

lneyaadmindy — Tue, 27 Feb 2024 07:46:10 +0000

YQH 0℃~-75℃

Cattura e recupero della condensazione dei gas di scarico；Purificazione dei gas di scarico dei semiconduttori

Refrigeratori di prova per semiconduttori

Pressione della zona fredda8 Bar
Acqua di raffreddamento @25℃1300L/H~3000L/H 1BAR~4BAR
Potenza3kW~8kW

recupero del gas Lavasciuga locale COV

RICHIESTA

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Cattura e recupero dei gas di condensazione VOCS

Adatto per il recupero di vari gas volatili COV; raffreddamento rapido, alta efficienza, soddisfa diversi requisiti di temperatura di condensazione, la bassa temperatura può raggiungere i -75°C.

Da dove provengono i gas nocivi?

Il problema deriva principalmente dai processi di pulizia, livellamento della colla, rimozione della colla, incisione e sviluppo della produzione di chip o schede di circuito.

elevato volume di scarico e bassa concentrazione di emissioni

Il processo principale di produzione dei circuiti integrati produce una grande quantità di gas di scarto acido-base, arsano, fosfina, organici e altri gas di processo. È necessario uno scrubber locale per la cattura e il recupero della condensazione dei gas di scarico.

I gas di scarico organici provengono principalmente da processi di pulizia, CVD, fotolitografia, incisione a umido, degommatura e diffusione. I tipi di gas di scarico organici includono principalmente alcool isopropilico, acetone, acetato di glicole propilenico monometilico, lattato di etile, acetato di butile, aromatici pesanti, ecc.

parametro

Modello	YQH-3520EXd YQH-3520Wexd	YQH-7520EXd YQH-7520WEXd	YQH-3530EXd YQH-3530WEXd	YQH-7530EXd YQH-7530WEXd
Flusso di gas	20m3/h	20m3/h	30m3/h	30m3/h
Temperatura più bassa	-35℃	-75℃	-35℃	-75℃
Temperatura del primo livello	0℃	0℃	0℃	0℃
Pressione della cella frigorifera	8bar	8bar	8bar	8bar
Area di scambio termico	3m2*2	3m2*2	5m2*2	5m2*2
Materiale dello scambiatore di calore	SUS304	SUS304	SUS304	SUS304
Monitoraggio della pressione	Monitoraggio e protezione della pressione di blocco antighiaccio per l'ingresso e l'uscita delle trappole di evaporazione primarie e secondarie
Controllo dello sbrinamento	Il controllo dello sbrinamento può essere effettuato in base al monitoraggio della pressione.
Diametro ingresso aria	DN40 PN16	DN40 PN16	DN50 PN16	DN50 PN16
Serbatoio di stoccaggio dei liquidi di recupero	10L Installazione opzionale della pompa di trasferimento a recupero		15L Installazione opzionale della pompa di trasferimento a recupero
Diametro dell'attacco di drenaggio	G1/2	G1/2	G1/2	G1/2
Sistema di controllo	PLC Siemens
Visualizzazione e registrazione	Schermo tattile a colori da 7 pollici
Compressore	Compressore flessibile Emerson Copeland Scroll (antideflagrante e incapsulato in resina epossidica)
Alimentazione 380V 50HZ MAX	3,5KW	5KW	4KW	6KW
Dimensione	80012001850	80012001850	100015001850	100015001850
Acqua di raffreddamento (raffreddamento ad acqua)20	1800L/H 1BAR~4BAR G3/4		3000L/H 1BAR~4BAR G3/4

principio di funzionamento

Introdurre il gas volatile VOCS nella scatola fredda dell'apparecchiatura (il dispositivo è impostato su una temperatura di condensazione di 3°C-40°C-75°C-115°C). Altre zone di temperatura possono essere personalizzate per seguire le esigenze di condensazione e liquefazione graduale. Alcuni processi di produzione continua prevedono un processo di commutazione a doppio canale nella sezione a bassa temperatura (dopo che un lato è stato bloccato dal ghiaccio, si passa direttamente all'altro canale per lo scambio di calore e la condensazione nella cella frigorifera e, allo stesso tempo, il blocco del ghiaccio viene testato per il trattamento di sbrinamento).

Personalizzato 25 BAR

Resistenza alla pressione del sistema di scambio termico

-40~-75℃

Soddisfare le diverse temperature

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INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …

MD -75℃～225℃
INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min

YQH 0℃~-75℃
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min

FLT-100℃~80℃ a bassa temperatura in cascata
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 15~45/min 6bar max Gamma di potenza 380V 3,5kW

FLTZ -30℃~40℃ Serie a doppia conversione di frequenza
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 15~45/min 6bar max Gamma di potenza 380V 3,5kW

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FLT-100℃~80℃ a bassa temperatura in cascata

lneyaadmindy — Fri, 23 Feb 2024 06:25:34 +0000

FLT -100℃~80℃

L'applicazione principale è il controllo accurato della temperatura nel processo di produzione dei semiconduttori e nel processo di test. Il metodo di riscaldamento è entro i 40°C e utilizza il gas caldo del compressore per riscaldare il concentrato.

Refrigeratore di raffreddamento

Precisione della temperatura±0.1℃
Controllo del flusso12~45/min
TipoCascata a bassa temperatura
Gamma di potenza380V

refrigeratore di raffreddamento refrigeratore per semiconduttori

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Dettagli sulla configurazione

Modello	FLT-803W	FLT-805W	FLT-806W	FLT-808W	FLT-810W
Intervallo di temperatura	-80℃～+80℃
Precisione del controllo della temperatura	±0.1℃
Controllo del flusso	7～25L/min		12～45L/min
	Il controllo del flusso è regolato da un convertitore di frequenza e la velocità viene regolata automaticamente in base al segnale di feedback del sensore di flusso. La pressione massima del circolatore è di 6 bar.
Capacità di raffreddamento@-70℃	0,6KW	1KW	1,5KW	2KW	3KW
Potenza di riscaldamento	2KW	2KW	2KW	3,5KW	3,5KW
Volume del fluido di circolazione interno	4L	5L	6L	8L	10L
Volume del vaso di espansione	10L	10L	15L	15L	20L
Mezzo termico	Liquido fluorurato
Interfaccia di ingresso e di uscita	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
Interfaccia acqua di raffreddamento	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	G1	G1
Acqua di raffreddamento @20℃	1,8m3/h	2,5m3/h	3m3/h	5m3/h	6m3/h
Alimentazione	380V 50HZ
Rompighiaccio	25A	25A	32A	40A	50A

Modello	FLT-1002W	FLT-1004W
Intervallo di temperatura	-100℃～+80℃	-100℃～+80℃
Precisione della temperatura	±0.1℃	±0.1℃
Controllo del flusso	7～25L/min	12～45L/min
	Il controllo del flusso è regolato da un convertitore di frequenza e la velocità viene regolata automaticamente in base al segnale di feedback del sensore di flusso. La pressione massima del circolatore è di 6 bar.
Capacità di raffreddamento@-90℃	1,5KW	3KW
Potenza di riscaldamento	3,5KW	5,5KW
Volume del fluido di circolazione interno	5L	8L
Volume del vaso di espansione	10L	15L
Mezzo termico	Liquido fluorurato
Interfaccia di ingresso e di uscita	G3/4	G3/4
Interfaccia acqua di raffreddamento	G3/4	G1
Acqua di raffreddamento @20℃	50L/min 2bar~7bar	100L/min 2bar~7bar
Potenza	380V 50HZ	380V 50HZ
Rompighiaccio	32A	63A
Peso	7008001850	80012001850

refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione sulle apparecchiature Fab

Raffreddatore a canale singolo raffreddato ad aria, progettato principalmente per le macchine di incisione. Viene utilizzato per fornire un controllo indipendente della temperatura delle pareti laterali della camera.

Applicazioni

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INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …

MD -75℃～225℃
INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min

YQH 0℃~-75℃
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min

FLT-100℃~80℃ a bassa temperatura in cascata
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 15~45/min 6bar max Gamma di potenza 380V 3,5kW

FLTZ -30℃~40℃ Serie a doppia conversione di frequenza
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 15~45/min 6bar max Gamma di potenza 380V 3,5kW

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FLTZ -30℃~40℃ Serie a doppia conversione di frequenza

lneyaadmindy — Fri, 23 Feb 2024 05:33:09 +0000

FLT Z -30℃~-40℃

Serie a doppia conversione di frequenza; Le pompe di circolazione e i compressori adottano la regolazione a conversione di frequenza.

Refrigeratore di raffreddamento

Precisione della temperatura±0.1℃
Controllo del flusso15~45/min 6bar max
Pressione della pompa6Bar max
Gamma di potenza380V 3,5kW Riscaldamento

refrigeratore di raffreddamento refrigeratore per semiconduttori

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Dettagli sulla configurazione

Modello	FLTZ-305W	FLTZ-305W/2T Sistema doppio
Intervallo di temperatura	-30℃~40℃	-30℃~40℃	-30℃~40℃
Precisione del controllo della temperatura	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
Controllo del flusso	15～45L/min ±0,3	15～45L/min ±0,3	15～45L/min ±0,3
Pressione della pompa	6 bar max	6 bar max	6 bar max
Riscaldamento	2,5kw	2,5kw	2,5kw
Capacità di raffreddamento@15℃	11kw	11kw	11kw
Capacità di raffreddamento@-15℃	5kw 约4500 giri/min.	5kw 约4500 giri/min.	5kw 约4500 giri/min.
Volume del fluido di circolazione interno	8L	8L	8L
Volume del vaso di espansione	15L	25L
Mezzo termico	Fluido fluorurato, antigelo, olio di silicone termico, ecc.
Interfaccia del mezzo termico	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
Interfaccia acqua di raffreddamento	ZG3/4	ZG3/4
Acqua di raffreddamento	30L/min @20℃	60L/min @20℃
Potenza	220V 50/60HZ	220V 50/60HZ
Rompighiaccio	40A	80A
Peso	4507001600	6508501600
	Riscaldamento elettrico opzionale da 3,5kw, la temperatura può essere estesa a 90℃, l'alimentazione deve essere cambiata a 380V.

refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione sulle apparecchiature Fab

Applicazioni

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INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …

MD -75℃～225℃
INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min

YQH 0℃~-75℃
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min

FLT-100℃~80℃ a bassa temperatura in cascata
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 15~45/min 6bar max Gamma di potenza 380V 3,5kW

FLTZ -30℃~40℃ Serie a doppia conversione di frequenza
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 15~45/min 6bar max Gamma di potenza 380V 3,5kW

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FLT -45℃~40℃

lneyaadmindy — Fri, 23 Feb 2024 05:07:30 +0000

FLT -45℃~40℃

Fluido fluorurato per raffreddamento e riscaldamento chiller

Refrigeratore di raffreddamento

Precisione della temperatura±0.1℃
Controllo del flusso25~75/min 6bar max
RefrigentR404A
Gamma di potenza380V 3kW~15kW

refrigeratore di raffreddamento refrigeratore per semiconduttori

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Dettagli sulla configurazione

Modello	FLT-402 FLT-402W	FLT-403 FLT-403W	FLT-404 FLT-404W	FLT-406 FLT-406W	FLT-408 FLT-408W	FLT-410 FLT-410W	FLT-415 FLT-415W
Controllo della temperatura	-45℃～40℃
Precisione del controllo della temperatura	±0.1℃
Controllo del flusso	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
Riscaldamento	Il riscaldamento del compressore viene utilizzato per prevenire la tecnologia di congelamento del condensatore.
Capacità di refrigerazione @-35℃	1kw	1,4kw	1,8kw	2,5kw	3,3kw	5kw	8kw
Volume del fluido di circolazione interno	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Volume del vaso di espansione	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Refrigerante	R404A
Refrigerante secondario	Acqua, olio di silicone, liquido fluorurato, soluzione acquosa di glicole etilenico, ecc.
Interfaccia di ingresso e di uscita	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G3/4	G1	G3/4
Collegamento all'acqua di raffreddamento	G1/2	G3/4	G3/4	G1	G1	G1	G1 1/8
Flusso di acqua di raffreddamento @20℃	1,5m³/H	2,4 m³/H	3,5 m³/H	5m³/H	5,5 m³/H	6m³/H	8m³/H
Potenza 380V	3KW	4KW	6KW	7,5KW	9KW	12KW	15KW
Espansione della temperatura	Aggiungendo un riscaldatore elettrico, la temperatura può essere estesa a -25℃~80℃.

refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione sulle apparecchiature Fab

Applicazioni

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INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …

MD -75℃～225℃
INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min

YQH 0℃~-75℃
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min

FLT-100℃~80℃ a bassa temperatura in cascata
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 15~45/min 6bar max Gamma di potenza 380V 3,5kW

FLTZ -30℃~40℃ Serie a doppia conversione di frequenza
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 15~45/min 6bar max Gamma di potenza 380V 3,5kW

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FLT -25℃~40℃

lneyaadmindy — Fri, 23 Feb 2024 03:56:00 +0000

FLT -25℃~-40℃

Utilizzato principalmente per il controllo preciso della temperatura nei processi di produzione e collaudo dei semiconduttori, riscaldando entro i 40°C con il metodo di riscaldamento a gas caldo del compressore.

Refrigeratori di prova per semiconduttori

Precisione della temperatura±0.1℃
Controllo del flusso25~75/min 6bar max
RefrigentR404A
Gamma di potenza380V 3kW~17kW

refrigeratore di raffreddamento refrigeratore per semiconduttori

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Controllo della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori

Il metodo di riscaldamento entro 40 ℃ adotta un compressore per il riscaldamento a gas caldo completamente chiuso e la macchina funziona ininterrottamente per 24 ore.

Garantire la stabilità e l'affidabilità del flusso complessivo del processo dei semiconduttori, dal front-end al back-end.

Dettagli sulla configurazione

Modello	FLT-202 FLT-202W	FLT-203 FLT-203W	FLT-204 FLT-204W	FLT-206 FLT-206W	FLT-208 FLT-208W	FLT-210 FLT-210W	FLT-215 FLT-215W
Intervallo di temperatura	-25℃～40℃
Precisione del controllo della temperatura	±0.1℃
Controllo del flusso	10～25L/min ±0,3		15～45L/min ±0,3			25～75L/min ±0,3
Controllo del flusso	Il controllo del flusso è regolato da un convertitore di frequenza e la pressione massima della pompa di circolazione è di 5 bar.
Refrigerazione @-15℃	2kw	3kw	3,8kw	6kw	7,6kw	10kw	15kw
Circolazione interna Volume del fluido	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Volume del vaso di espansione	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
refrigerante	R404A
Refrigerante secondario	Acqua, olio di silicone, liquido fluorurato, soluzione acquosa di glicole etilenico, ecc.
Interfaccia di ingresso e di uscita	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G3/4	G1	G1
Collegamento all'acqua di raffreddamento	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G1	G1	G1 1/8
Flusso d'acqua di raffreddamento@20℃	1,2 m³/H	1,6 m³/H	2,6 m³/H	3,6 m³/H	5,5 m³/H	7m³/H	10,2 m³/H
Potenza 380V	3KW	4KW	6KW	8KW	9KW	13KW	17KW
Espansione della temperatura	Aggiungendo un riscaldatore elettrico, la temperatura può essere estesa a -25℃~80℃.

Descrizione del prodotto

Il dispositivo di controllo della temperatura dei semiconduttori Chiller è utilizzato principalmente per il controllo preciso della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori. I suoi prodotti comprendono il controllo della temperatura del liquido fluorurato (minimo -100 gradi), il cambio rapido di temperatura del gas di raffreddamento e riscaldamento, il mandrino a cambio rapido di temperatura, la macchina di refrigerazione del gas a bassa temperatura (-120 gradi), l'unità di refrigerazione a raffreddamento diretto (-150 gradi), ecc. L'azienda applica vari algoritmi (PID, PID feedforward e algoritmo ad albero autocostruito model free) nel sistema per ottenere una risposta rapida e un'elevata precisione di controllo.

Informazioni importanti come la temperatura (pressione) di scarico e di aspirazione, la temperatura di condensazione, la temperatura (pressione) dell'acqua di raffreddamento, la temperatura (pressione) del liquido (gas) in ingresso e in uscita, la potenza elettrica, la corrente e la tensione di ciascun componente e il livello del serbatoio dell'acqua del refrigeratore sono tutti gestiti, monitorati e registrati in modo completo attraverso sensori collegati al sistema di controllo.

refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione sulle apparecchiature Fab

Applicazioni

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INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …

MD -75℃～225℃
INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min

YQH 0℃~-75℃
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min

FLT-100℃~80℃ a bassa temperatura in cascata
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 15~45/min 6bar max Gamma di potenza 380V 3,5kW

FLTZ -30℃~40℃ Serie a doppia conversione di frequenza
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 15~45/min 6bar max Gamma di potenza 380V 3,5kW

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Refrigeratore a scambio termico ETCU

lneyaadmindy — Fri, 23 Feb 2024 03:28:34 +0000

FLT 5℃~-40℃

Controllo della temperatura dei semiconduttori

Refrigeratore di raffreddamento

refrigeratore di raffreddamento refrigeratore per semiconduttori

L'applicazione principale è il controllo accurato della temperatura nel processo di produzione dei semiconduttori e nel processo di test.

Il metodo di riscaldamento è entro i 40°C e utilizza il gas caldo del compressore per riscaldare il concentrato.

Il sistema di circolazione adotta un design completamente sigillato e la pompa di circolazione adotta una pompa a trascinamento magnetico.

Test dell'ammoniaca e test di sicurezza per garantire la sicurezza, l'affidabilità e la prosperità del sistema;

Dopo 24 ore di funzionamento continuo della copiatrice

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Controllo della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori

Il metodo di riscaldamento entro 40 ℃ adotta un compressore per il riscaldamento a gas caldo completamente chiuso e la macchina funziona ininterrottamente per 24 ore.

Garantire la stabilità e l'affidabilità del flusso complessivo del processo dei semiconduttori, dal front-end al back-end.

Dettagli sulla configurazione

Modello	ETCU-005W	ETCU-008W	ETCU-015W	ETCU-030W
Intervallo di temperatura	Temperatura dell'acqua di raffreddamento +5℃~90℃ ±0,3℃
Temperatura dell'acqua di raffreddamento	7℃~30℃ Utilizzare la valvola di regolazione Siemens/Honeywell per controllare il flusso dell'acqua di raffreddamento
Capacità di raffreddamento	5kw	8kw	15kw	30kw
	Condizioni di prova: Al massimo volume di circolazione, la differenza di temperatura tra la temperatura di controllo della temperatura e la temperatura dell'acqua di raffreddamento è di 15°C.
Flusso della pompa di circolazione	7~20L/min 5bar	7~20L/min 5bar	15~40L/min 5bar	20~60L/min 5bar
Volume del serbatoio	6L	8L	10L	15L
Dimensione	480750390	480750390	480750390	480750500
Potenza	220V 50HZ/60hz 0,6kw		220V 50HZ/60hz1.3kw	220V 50HZ/60hz 1.6kw

Descrizione del prodotto

Scenari applicativi del controllo della temperatura nel processo dei semiconduttori

refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione sulle apparecchiature Fab

Applicazioni

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INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …

MD -75℃～225℃
INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min

YQH 0℃~-75℃
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min

FLT-100℃~80℃ a bassa temperatura in cascata
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 15~45/min 6bar max Gamma di potenza 380V 3,5kW

FLTZ -30℃~40℃ Serie a doppia conversione di frequenza
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 15~45/min 6bar max Gamma di potenza 380V 3,5kW

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FLT 5℃~-40℃

lneyaadmindy — Thu, 22 Feb 2024 06:38:27 +0000

FLT 5℃~-40℃

Refrigeratore di raffreddamento

Precisione della temperatura±0.1℃
Controllo del flusso25~75/min 6bar max
RefrigentR404A
Gamma di potenza380V 3,5kW~16kW

refrigeratore di raffreddamento refrigeratore per semiconduttori

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Controllo della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori

Il metodo di riscaldamento entro 40 ℃ adotta un compressore per il riscaldamento a gas caldo completamente chiuso e la macchina funziona ininterrottamente per 24 ore.

Garantire la stabilità e l'affidabilità del flusso complessivo del processo dei semiconduttori, dal front-end al back-end.

Dettagli sulla configurazione

Modello	FLT-002 FLT-002W	FLT-003 FLT-003W	FLT-004 FLT-004W	FLT-006 FLT-006W	FLT-008 FLT-008W	FLT-010 FLT-010W	FLT-015 FLT-015W
Controllo della temperatura	5℃～40℃
Precisione della temperatura	±0.1℃
Controllo del flusso	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
Capacità di refrigerazione@10℃	6kw	8kw	10kw	15 kw	20kw	25kw	40kw
Volume del liquido di circolazione interno	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Capacità del vaso di espansione	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Refrigerante	R410A
Refrigerante secondario	Olio di silicone, liquido fluorurato, soluzione acquosa di glicole etilenico, DI, ecc. (la temperatura di DI deve essere controllata al di sopra di 10 ℃).
Interfacce di ingresso e di uscita	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G3/4	G1	G1
Uscita acqua di raffreddamento	G1/2	G1/2	G3/4	G1	G1	G1	G1 1/8
Portata dell'acqua di raffreddamento@20℃	1,5 m³/h	2m³/h	2,5 m³/h	4m³/h	4,5 m³/h	5,6 m³/h	9m³/h
alimentazione 380V	3,5kW	4kW	5,5kW	7kW	9,5kW	12kW	16kW
Estensione della temperatura	Aggiungendo un riscaldatore elettrico, è possibile ampliare l'intervallo di temperatura da -25 ℃ a 80 ℃.

Descrizione del prodotto

Il metodo di riscaldamento entro 40 ℃ adotta il riscaldamento a gas caldo del compressore.

Il sistema di circolazione del refrigeratore adotta un design completamente chiuso e la pompa di circolazione adotta una pompa a trascinamento magnetico.

Test all'elio del refrigeratore 100%, test delle norme di sicurezza 100% per garantire la sicurezza e l'affidabilità del sistema.

Il refrigeratore fa funzionare la fotocopiatrice ininterrottamente per 24 ore a 100%.

refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione sulle apparecchiature Fab

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INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …

MD -75℃～225℃
INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min

YQH 0℃~-75℃
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min

FLT-100℃~80℃ a bassa temperatura in cascata
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 15~45/min 6bar max Gamma di potenza 380V 3,5kW

FLTZ -30℃~40℃ Serie a doppia conversione di frequenza
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 15~45/min 6bar max Gamma di potenza 380V 3,5kW

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ZLJ -40℃~-15℃

lneyaadmindy — Thu, 06 Jul 2023 03:10:47 +0000

ZLJ -40℃~-15℃

Refrigeratore raffreddato ad aria per il processo di produzione dei semiconduttori

Refrigeratori Refrigeratore criogenico a raffreddamento diretto Refrigeratori di prova per semiconduttori

Compressore1,5 CV~7 CV
RefrigentR404A R507C R448
Gamma di potenza380V 50HZ può scegliere 220V
Precisione della temperatura±0.5℃

refrigeratore raffreddato ad aria refrigeratore per semiconduttori

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Controllo della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori

Tipo di raffreddamento diretto del refrigeratore

I requisiti di controllo multipli possono essere raggiunti unendo più dispositivi in un armadio più grande.

Utilizzato per piccole superfici di scambio termico e grandi capacità di scambio termico

Dettagli sulla configurazione

Modello	ZLJ-41.0	ZLJ-41.5	ZLJ-42	ZLJ-43	ZLJ-44	ZLJ-46	ZLJ-48
Modello	ZLJ-41.0W	ZLJ-41.5W	ZLJ-42W	ZLJ-43W	ZLJ-44W	ZLJ-46W	ZLJ-48W
Intervallo di temperatura	-40℃～-10℃
Precisione del controllo della temperatura	Temperatura di evaporazione di controllo ±0,5
Metodo di strozzatura	Valvola di espansione elettronica
Controllore	PLC Siemens
Mostra il record	Schermo touch screen da 7 pollici, registrazione della temperatura, della pressione del sistema e di altre informazioni
Componenti principali	Filtro disidratatore Danfoss, elettrovalvola Castor, sensore di pressione Johnson Controls, ventola EBM (raffreddata ad aria), separatore d'olio Danfoss/Emerson,
Compressore	Secop, Taikang, Emerson, Carlisle
Refrigerante	R404A Opzionale R507C R448
Raffreddamento ad alta temperatura	Con la tecnologia di raffreddamento diretto ad alta temperatura a 150 gradi, per raggiungere l'obiettivo di una rapida capacità di raffreddamento durante il funzionamento ad alta temperatura.
Compressore	7/8HP	1,5HP	2HP	3HP	4HP	6HP	8HP
Alimentazione V	220V 50HZ			380V 50HZ Può essere personalizzato 220V

Descrizione del prodotto

Dotato di tecnologia di raffreddamento diretto ad alta temperatura di 150℃, soddisfa l'obiettivo di una rapida capacità di raffreddamento durante il funzionamento ad alta temperatura.

Il prodotto emette ed evapora direttamente il refrigerante nel sistema di refrigerazione nell'elemento di controllo target (scambiatore di calore) per lo scambio di calore, raffreddando così l'oggetto di controllo target. Rispetto al fluido (gas) trasportato nello scambiatore di calore, la capacità di scambio termico è generalmente più di 5 volte superiore, il che è particolarmente adatto per applicazioni in cui l'area di scambio termico dello scambiatore di calore è piccola ma la capacità di scambio termico è grande.

Il frigorifero a raffreddamento diretto può essere utilizzato anche come cattura di gas; il refrigerante viene fatto passare direttamente nella trappola per evaporare e il gas presente nello spazio viene rapidamente catturato grazie all'effetto di condensazione sulla superficie della trappola.

aspetto

1.Interfaccia refrigerante 2. Maniglia portatile

3. Touch screen 4. Impugnatura portatile

5. Slot per scheda touch screen 6. Uscita aria

Protezione della sicurezza

Utilizzo di interruttori differenziali Schneider e di altre marche, interruttori in sequenza di fase, protezioni di livello per liquidi, protezioni per alta e bassa tensione e protezioni per alte temperature.

Interfaccia di comunicazione dati

La configurazione standard comprende una PT100, un'interfaccia USB e un'interfaccia di comunicazione RS485. È possibile selezionare diverse altre interfacce analogiche e segnali di contatto, nonché l'interfaccia Ethernet.

Processo di candidatura

Ampiamente applicabile ai processi di incisione, deposizione chimica da vapore e deposizione fisica da vapore nelle fabbriche di wafer di semiconduttori.

Incisione dei wafer

Deposizione di vapore chimico

Deposizione fisica da vapore

ETCH

CVD

PVD

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INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …

MD -75℃～225℃
INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min

YQH 0℃~-75℃
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
Camera ambientale Fornisce -45°C~100°C L'ampia finestra di osservazione consente di osservare in tempo reale le condizioni di prova nella camera e di effettuare regolazioni tempestive. RICHIESTA Dati del prodotto downloadmanual.pdf Temperatura c...

Camera di gestione termica per il test della batteria
Camera ambientale Fornisce -45°C~100°C L'ampia finestra di osservazione consente di osservare in tempo reale le condizioni di prova nella camera e di effettuare regolazioni tempestive. RICHIESTA Dati del prodotto downloadmanual.pdf Temperatura c...
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min

FLT-100℃~80℃ a bassa temperatura in cascata
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min

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LTS -20℃~80℃

lneyaadmindy — Wed, 17 May 2023 07:57:33 +0000

LTS -20℃~80℃ Fluoride cooling and heating system

Temperature control during semiconductor manufacturing

Controllo del flusso12L/min~45L/min
Internal circulating liquid4L~10L
Serbatoio di espansione10L~20L
Luogo di origineCina

sistema di controllo dinamico della temperatura Controllo della temperatura del liquido fluorurato Serie LTS refrigeratore di prova per semiconduttori

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Parametri dettagliati

Modello	LTS-202	LTS-203	LTS-204	LTS-206	LTS-208
	LTS-202W	LTS-203W	LTS-204W	LTS-206W	LTS-208W
Intervallo di temperatura	-20℃～35℃
Precisione del controllo della temperatura	±0.1℃ at -20℃～0℃
Controllo del flusso	7～25L/min		12～45L/min
	The flow control adopts frequency converter adjustment, and the speed is automatically adjusted according to the feedback signal of the flow sensor. The maximum pressure of the circulating pump is 5bar.
Internal circulating fluid volume	4L	5L	6L	8L	10L
Volume del vaso di espansione	10L	10L	15L	15L	20L
Visualizzazione della pressione del sistema	The pressure of the refrigeration system is realized by a pointer pressure gauge (high pressure, low pressure)
	The pressure acquisition outlet position of the circulatory system is detected by a pressure sensor and displayed on the touch screen
Controllore	PLC, algoritmo di controllo PID fuzzy, con algoritmo di controllo a cascata
Temperature control	Modalità di controllo della temperatura di uscita del fluido di trasferimento del calore
	External temperature sensor: (PT100 or 4～20mA or communication setting) control mode (cascade control)
Lettera di accordo	Interfaccia Ethernet Protocollo TCP/IP
	Interfaccia RS485 protocollo modbus RTU
Internal temperature feedback of equipment	Equipment heat transfer medium outlet temperature, medium inlet temperature, refrigeration system condensation temperature, ambient temperature, compressor suction temperature, cooling water temperature (available for water-cooled equipment)
Sistema di circolazione chiuso	The whole system is a fully enclosed system, low temperature does not absorb moisture in the air, does not volatilize the heat transfer medium, and the low temperature automatically supplements the heat transfer medium into the circulation system
Compressore	Emerson Copeland/Danfoss Scroll Flexible Compressor
Pompa di circolazione	Magnetic circulation pump
Evaporatore	Scambiatore di calore a piastre
Condensatore	Micro channel condenser (air-cooled)
	Plate heat exchanger (water-cooled), special attention: clean factory water is required
Accessori per la refrigerazione	Danfoss/Emerson accessories (filter drier, oil separator, high and low pressure protector, expansion valve)
Pannello operativo	Schermo tattile a colori da 7 pollici personalizzato LNEYA, visualizzazione della curva di temperatura
Sicurezza	With self-diagnosis function; phase sequence open-phase protector, refrigerating machine overload protection; high-pressure pressure switch, overload relay, thermal protection device and other security functions.
Dimensioni dell'interfaccia di ingresso e di uscita	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4

Descrizione del prodotto

It is widely used in the semiconductor manufacturing process to control the temperature of the reaction chamber, the temperature of the heat sink, and the temperature control of the non-flammable fluid of the heat transfer medium.

1. The pressure holding test of the medium circulation system is 7 bar.
2. Use high-quality magnetic pump without mechanical shaft seal.
Ottimizzare il campionamento della temperatura e la velocità di risposta, algoritmo di controllo appositamente progettato, in grado di rispondere rapidamente al controllo della temperatura stabile.
4. Enhance the design of the circulating pump capacity to meet the high-lift requirements of the system.
5. Continuous high-temperature cooling technology meets the requirements for stable operation when heat is loaded on the heat sink plate and requires cooling and heating constant temperature control.
6. In view of the volatile characteristics of fluorinated liquid, the joint design and system sealing design are strengthened to ensure the service life of the medium.

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MD -75℃～225℃
INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min

YQH 0℃~-75℃
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min

FLT-100℃~80℃ a bassa temperatura in cascata
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 15~45/min 6bar max Gamma di potenza 380V 3,5kW

FLTZ -30℃~40℃ Serie a doppia conversione di frequenza
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 15~45/min 6bar max Gamma di potenza 380V 3,5kW

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