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FLTZ -80℃~90℃
I chiller ad acqua ricircolante della serie FLTZ-80℃~90℃ hanno vantaggi senza pari nelle applicazioni di refrigerazione a bassa temperatura. L'intervallo di temperatura di questo chiller raffreddato ad acqua è -80℃~90℃, con una precisione di controllo della temperatura fino a ±0.05℃, e i risultati di controllo possono essere ripetuti.
Il sistema di chiller ad acqua ricircolante è un sistema a circolazione completamente chiuso. Non assorbe umidità dall'aria a basse temperature e non volatilizza il fluido termoconduttore né produce nebbia di olio ad alte temperature.
LNEYA si concentra sui chiller a bassa temperatura da 15 anni. Il raffreddamento sotto -60℃ è il nostro intervallo di temperatura vantaggioso. Se necessario, possiamo realizzare fino a -150℃ per soddisfare le varie esigenze applicative.
Come prodotto della serie di refrigerazione a cascata a bassa temperatura, il chiller ad acqua ricircolante FLTZ -80℃~90℃ ha un ampio intervallo di temperatura, raggiungendo facilmente il raffreddamento da -80℃ a 90℃.
In molti flussi di processo, il controllo preciso della temperatura è la chiave del successo o del fallimento, specialmente nell'industria dei semiconduttori. Il chiller ad acqua ricircolante FLTZ -80℃~90℃, con la sua altissima precisione di controllo della temperatura (±0.05℃), ti libera dalla preoccupazione di situazioni incontrollabili causate dai cambiamenti di temperatura.
L'efficienza del raffreddamento influisce anche sulla qualità del processo. I chiller ad acqua ricircolante FLTZ -80℃~90℃ combinano l'algoritmo ad albero auto-costruito senza modello con l'algoritmo a cascata, in modo che la temperatura dell'obiettivo remoto possa essere controllata con precisione per ottenere un effetto di raffreddamento rapido.
Tutti sappiamo che i chiller generali utilizzano olio di silicone, soluzione acquosa di glicole etilenico, etanolo, DI, ecc. come mezzo di trasferimento del calore, mentre i chiller ad acqua ricircolante FLTZ -80℃~90℃ utilizzano liquido fluorurato.
Ciò è dovuto al fatto che il liquido fluorurato evapora più velocemente, è non infiammabile, ha un effetto di raffreddamento migliore e maggiore sicurezza, ed è spesso utilizzato per il raffreddamento dei processi nei semiconduttori.
Mentre molti chiller utilizzano ancora valvole di espansione termiche, i chiller ad acqua ricircolante FLTZ -80℃~90℃ utilizzano già valvole di espansione elettroniche. Sono più precise e possono essere regolate in tempo reale in base alla temperatura.
I chiller ad acqua ricircolante FLTZ -80℃~90℃ sono spesso utilizzati nei processi front-end e back-end dei semiconduttori grazie alla loro eccellente capacità di raffreddamento.
L’impianto ionico è un processo importante nella produzione di semiconduttori per regolare le proprietà elettriche dei materiali. Questo processo richiede un rigoroso controllo della temperatura per garantire la precisione della profondità e della distribuzione dell’impianto ionico.
I refrigeratori ad acqua a ricircolo FLTZ -80℃~90℃ possono fornire un ambiente a temperatura stabile per migliorare la precisione dell’impianto.
Durante i processi di litografia e incisione, le wafer devono essere mantenute in uno specifico intervallo di temperatura. I refrigeratori ad acqua a ricircolo FLTZ -80℃~90℃ possono fornire un ambiente stabile a bassa o alta temperatura per evitare che le fluttuazioni termiche influenzino i risultati del processo.
I componenti semiconduttori possono essere soggetti a differenze di temperatura estreme durante l’uso reale, pertanto la loro affidabilità deve essere verificata tramite test di cicli termici. I refrigeratori ad acqua a ricircolo FLTZ -80℃~90℃ offrono un intervallo di temperatura da -80℃ a 90℃, simulando le fluttuazioni termiche degli ambienti di lavoro reali e testando la resistenza al calore e la stabilità dei componenti semiconduttori.
| Modello | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| Intervallo di temperatura | -80℃～+90℃ | ||||
| Precisione del controllo della temperatura | ±0.05℃（Temperatura di uscita in stato stazionario） | ||||
| Controllo del flusso | 7～25L/min 5bar max | 12～45L/min 6bar max | |||
| Capacità di raffreddamento a -70℃ | 0,6kW | 1kW | 1,5kW | 2kW | 3kW |
| Capacità di riscaldamento | 2kW | 2kW | 2kW | 3,5kW | 3,5kW |
| Volume del fluido circolante interno | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| Volume del vaso di espansione | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| Wärmeleitmedium | Liquido fluorurato | ||||
| Dimensioni del collegamento | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Dimensione della connessione dell'acqua di raffreddamento | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Acqua di raffreddamento a 20℃ | 1,8m3/h | 2,5m3/h | 3m3/h | 5m3/h | 6m3/h |
| Interruttore automatico | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| Dimensioni（cm） | 550*700*1750 | 650*850*1850 | 700*850*1850 | 700*850*1850 | 800*1200*1850 |
| Controllo della temperatura del processo | La temperatura target remota può essere controllata combinando il modello auto-creato senza modello con il controllo automatico. Algoritmo di costruzione dell'albero e algoritmo a cascata | ||||
Il chiller ad aria raffredda il refrigerante tramite aria. Non richiede una torre d’acqua, ma ha requisiti ambientali di temperatura relativamente elevati. Quando la temperatura ambiente è troppo alta, l’efficienza di raffreddamento è bassa. Specialmente in estate, è relativamente difficile raffreddare sotto i -60℃.
Il chiller ad acqua non presenta questo problema. È dotato di torre d’acqua e pompa, e l’acqua di raffreddamento circolante lo rende più efficiente e occupa meno spazio.
Poiché la temperatura di raffreddamento dei chiller ad acqua a ricircolo FLTZ -80℃~90℃ può arrivare fino a -80℃, per garantire l’utilizzo in ambienti caldi utilizziamo un condensatore raffreddato ad acqua. Se avete ulteriori domande, i nostri esperti di chiller saranno felici di rispondere gratuitamente.
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