Refrigeratori industriali LNEYA Produttore Fornitore
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Refrigeratori di processo
Chiller raffreddato ad acqua e chiller raffreddato ad aria
LENYA Alto–Precisione Refrigeratore ensure the controllable accuracy of ± 0.05℃
maggiore precisione nel controllo della temperatura, gamma di controllo della temperatura più ampia e velocità di raffreddamento più rapida.
refrigeratore di processo
thermal chiller
refrigeratore d'acqua a ricircolo
FLTZ -25℃~90℃ Process Chillers
FLTZ -25℃~90℃ è un chiller di processo compatto e integrato a bassa temperatura con un sistema completamente chiuso. La bassa temperatura previene l'assorbimento dell'umidità dall'aria, mentre la temperatura elevata non fa evaporare il fluido di trasferimento termico né produce nebbia d'olio. Il sistema può reintegrare automaticamente il fluido di trasferimento termico nel circuito di circolazione.
As a trusted industrial chiller supplier, LNEYA provides chillers with high temperature control accuracy. FLTZ -25℃~90℃ offers a wide temperature range and precision control up to ±0.05℃Offre un raffreddamento rapido e soddisfa i requisiti di diversi processi, garantendo prestazioni stabili e un funzionamento affidabile.
Parametri di FLTZ -25℃~90℃ Process Chillers
“W”represents optional water cooling, default air cooling.
| FLTZ SERIES | 002 002W | 003 003W | 004 004W | 006 006W | 008 008W | 010 010W | 015 015W |
| Intervallo di temperatura | 5℃～90℃ | ||||||
| Precisione del controllo della temperatura | ±0.05℃（Temperatura di uscita in stato stazionario） | ||||||
| Capacità di raffreddamento @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| Refrigerante | R410A | ||||||
| Portata dell'acqua di raffreddamento @20℃ | 1.5m³/h | 2m³/h | 2.5m³/h | 4m³/h | 4.5m³/h | 5.6m³/h | 9m³/h |
| Volume del fluido circolante interno | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volume del vaso di espansione | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Refrigerante | R410A | ||||||
| Dimensioni del collegamento | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Dimensione della connessione dell'acqua di raffreddamento | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Mezzo refrigerante | Olio di silicone, liquido fluorurato, soluzione acquosa di poliolo, DI, ecc. (la temperatura del DI deve essere controllata sopra 10℃) | ||||||
| Controllo della temperatura del processo | La temperatura target remota può essere controllata combinando il modello auto-creato senza modello con il controllo automatico. Algoritmo di costruzione dell'albero e algoritmo a cascata | ||||||
Caratteristiche dei chiller di processo FLTZ -25℃~90℃
Precisione del controllo della temperatura
Using three-point sampling (temperature of the measured object, inlet and outlet temperature of the temperature control system), the model-free self-building algorithm and the general anti-lag cascade algorithm are combined, and the controller predicts the control action without large lag.
Intervallo di temperatura
The temperature control range of FLTZ -25℃~90℃ process chiller is from -25℃ to 90℃, which meets the temperature control requirements in most process processes. There is no need to replace other chillers during the process, which improves production efficiency.
Funzione di comunicazione
I protocolli di comunicazione del chiller di processo includono l'interfaccia RS485 con protocollo Modbus RTU e l'interfaccia Ethernet con protocollo TCP/IP, che consentono di comunicare con il vostro equipaggiamento o costruire un sistema.
Risparmio energetico con frequenza variabile
The chiller is equipped with a variable frequency pump. You can set the output pressure and flow of the circulating fluid on the operation panel. Under various piping conditions, the variable frequency pump can automatically control the set output pressure and flow without bypass pipe adjustment, thereby reducing the power consumed by the pump and achieving energy saving.
Touch screen a colori
FLTZ -25℃~90℃ process chiller adopts LNEYA customized color touch screen, which can display various real-time information on the screen, such as the temperature and pressure of the inlet and outlet fluids, the current and voltage of each component, the liquid level of the water tank, etc.
Compression heating
When the temperature is within 40℃, FLTZ -25℃~90℃ process chiller can use the hot air generated by the compressor for heating without using a heater, which can achieve energy saving while recovering the heat generated by the compressor.
Nessuna perdita
The entire system of the FLTZ -25℃~90℃ industrial process chiller is a fully closed circulation system, equipped with various well-known brands of magnetic drive pumps, which can effectively avoid leakage risks.
Ispezione del controllo qualità
Ogni chiller di processo viene sottoposto a una verifica del 100% con elio e a una verifica di sicurezza, ed è testato con 24 ore di operazione continua per garantire che l'attrezzatura che riceverete sia sicura e affidabile.
Application of FLTZ -25℃~90℃ Process Chillers
FLTZ -25℃~90℃ process chillers are commonly used in the semiconductor industry to assist front-end and back-end processes.
• Raffreddamento e riscaldamento del wafer
Durante il processo di fotolitografia e incisione, è necessario garantire che il wafer rimanga entro un intervallo di temperatura specifico. I chiller di processo FLTZ -25℃~90℃ possono fornire un ambiente stabile a bassa o alta temperatura per garantire la stabilità del materiale ed evitare l'impatto delle variazioni di temperatura sul processo.
• Controllo preciso della temperatura nel processo di fotolitografia
Durante il processo di fotolitografia, il controllo della temperatura nel sistema di esposizione è molto importante per la polimerizzazione del fotoresist e la qualità del trasferimento del pattern. I chiller per semiconduttori FLTZ -25℃~90℃ possono garantire che il sistema di esposizione rimanga a una temperatura stabile.
• Controllo della temperatura durante il confezionamento
Durante il processo di confezionamento, l'espansione e la contrazione del materiale saranno influenzate dalle variazioni di temperatura. I chiller industriali FLTZ -25℃~90℃ possono regolare con precisione la temperatura per evitare stress, crepe e altri problemi causati dalle differenze di temperatura durante il processo di confezionamento, garantendo così la qualità dell'imballaggio.
• Test di adattabilità ambientale
Some semiconductor components will work at extreme temperatures. FLTZ -25℃~90℃ chiller can provide a wide temperature control range (-25℃ to 90℃) to test the performance of components under different temperature conditions and ensure the environmental adaptability of the product.
FLTZ -25℃~90℃ Process Chillers Related standard Chillers
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