Refrigeratori industriali LNEYA Produttore Fornitore
Tutti i modelli di chiller per semiconduttori
Raffreddatore Peltier
TEC -20℃~90℃
ACCURATEZZA DELLA TEMPERATURA ±0.1℃
Fornisce un controllo della temperatura affidabile e preciso per il processo di incisione delle wafer
Temperatura del punto di rugiada
≤30℃
≤30℃
Tensione di alimentazione
AC208V-DC250V
Tensione di alimentazione
AC208V-DC250V
Tensione di alimentazione
Temperatura di attivazione CDA
＜30℃
＜30℃
Il refrigeratore termolettrico Peltier LNEYA, con un intervallo di temperatura da -20 a 90℃, è realizzato su misura per l’industria dei semiconduttori;
Basato sul comprovato principio di conduzione del calore Peltier, il sistema di controllo della temperatura Peltier può fornire un controllo della temperatura ripetibile per applicazioni di incisione al plasma; il controllo dinamico della temperatura del morsetto elettrostatico (ESC) ne consente l’applicazione a tutti i tipi di processi di incisione.
TEC SERIES
-20°C
il più basso
90°C
il più alto
±0.1°C
Precisione del controllo della temperatura
| Modello | TEC-1200W | TEC-2500W | TEC-4500W | |
| Temperatura. Intervallo | -20℃~90℃ | -20℃~90℃ | -20℃~90℃ | |
| Capacità di raffreddamento | 20℃ | 1200w | 2450w | 4500w |
| 10℃ | 900w | 1925w | 3500w | |
| 0℃ | 600w | 1400w | 2600w | |
| -10℃ | 350w | 875w | 1600w | |
| -20℃ | 80w | 350w | 700w | |
| Potenza di riscaldamento | ＞3000w | ＞6000w | ＞12000w | |
| Pump type | DC magnetic pump | DC magnetic pump | DC magnetic pump | |
| Pressure（bar） | ≤4 | ≤4 | ≤4 | |
| Flusso | 15L/min at 2bar | 15L/min at 2bar | 15L/min at 2bar | |
| Fluid | Galden HT135 | Galden HT135 | Galden HT135 | |
| Temperatura dell'acqua di raffreddamento | DI＜20℃ | DI＜20℃ | DI＜20℃ | |
| Cooling Water Flow | ≤12L/min | ≤20L/min | ≤32L/min | |
| Pressure | 0.5-0.8bar | 0.5-0.8bar | 0.5-0.8bar | |
| Flusso | 2-3m³/h | 2-3m³/h | 2-3m³/h | |
Principio di funzionamento
1. Portapiastra (Chuck wafer carrier) 2. Pompa di circolazione (Circulation pump) 3. Controller (Controller) 4. Modulo di scambio termoelettrico (Thermoelectric heat exchange module) 5. Modulo di alimentazione (Power module) 6. Ingresso acqua di raffreddamento (Cooling water inlet) 7. Uscita acqua di raffreddamento (Cooling water outlet)
Questa soluzione di controllo della temperatura in loco migliora significativamente l’uniformità del processo tra i lotti di wafer e tra le camere. Come funziona: il monitoraggio in tempo reale della temperatura del corpo dell’onda di rifusione della camera viene utilizzato per regolare dinamicamente la temperatura di alimentazione e compensare le variazioni del carico termico durante il processo. *Sistema di controllo della temperatura in loco *Velocità di salita rapide migliorano significativamente il rendimento della camera *Sistema point-of-use senza compressore riduce il consumo energetico di circa il 50%
PELTIER CHILLER FEATURES
Funzionano completamente senza refrigerante e richiedono pochissima manutenzione.
Puoi fidarti della nostra fabbrica di chiller Peltier
Siamo un fornitore di chiller molto potente con una propria fabbrica e oltre 20 anni di esperienza nel campo del controllo della temperatura
Servizio globale
Abbiamo servito più di 30.000 clienti.
Esportato in oltre 20 paesi.
Brevetti di certificazione
Ha ottenuto la certificazione CE, la certificazione SGS e la certificazione ISO.
Assistenza post-vendita
Fornire una formazione tecnica completa.
Con soluzioni 24/7.
Team professionale
Fondata nel 2010, con 15 anni di esperienza nel settore.
Il 20% dei dipendenti sono tecnici.
Controllo qualità
Ispezione visiva
Test di prestazione.
Test di sicurezza elettrica.
FAQ
Il chiller Peltier offre un controllo della temperatura rapido e preciso, in grado di soddisfare qualsiasi esigenza di processo esigente
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