Refrigeratori industriali LNEYA Produttore Fornitore
ALL Semiconductor chillers model
Refrigeratore Peltier
TEC -20℃~90℃
TEMPERATURE ACCURACY ±0.1℃
Provide reliable and precise temperature control for wafer etching process
Temperatura del punto di rugiada
≤30℃
≤30℃
Power supply voltage
AC208V-DC250V
three-phase voltage
AC208V-DC250V
three-phase voltage
CDA activation temperature
＜30℃
＜30℃
LNEYA Peltier chiller thermoelectric cooler temperature range from -20 to 90℃, tailor-made for the semiconductor industry;
Based on the proven Peltier heat conduction principle, the Peltier temperature control system can provide repeatable temperature control for plasma etching applications; dynamic temperature control of the electrostatic chuck (ESC) enables it to be applied to all types of etching processes.
TEC SERIES
-20°C
più basso
90°C
Il più alto
±0.1°C
Precisione del controllo della temperatura
| Modello | TEC-1200W | TEC-2500W | TEC-4500W | |
| Temperatura. Intervallo | -20℃~90℃ | -20℃~90℃ | -20℃~90℃ | |
| Capacità di raffreddamento | 20℃ | 1200w | 2450w | 4500w |
| 10℃ | 900w | 1925w | 3500w | |
| 0℃ | 600w | 1400w | 2600w | |
| -10℃ | 350w | 875w | 1600w | |
| -20℃ | 80w | 350w | 700w | |
| Potenza di riscaldamento | ＞3000w | ＞6000w | ＞12000w | |
| Pump type | DC magnetic pump | DC magnetic pump | DC magnetic pump | |
| Pressure（bar） | ≤4 | ≤4 | ≤4 | |
| Flusso | 15L/min at 2bar | 15L/min at 2bar | 15L/min at 2bar | |
| Fluid | Galden HT135 | Galden HT135 | Galden HT135 | |
| Temperatura dell'acqua di raffreddamento | DI＜20℃ | DI＜20℃ | DI＜20℃ | |
| Cooling Water Flow | ≤12L/min | ≤20L/min | ≤32L/min | |
| Pressure | 0.5-0.8bar | 0.5-0.8bar | 0.5-0.8bar | |
| Flusso | 2-3m³/h | 2-3m³/h | 2-3m³/h | |
Dynamic temperature control principle
1.Chuck wafer carrier
2.Circulation pump
3.Controller
4.Thermoelectric heat exchange module
5.Power module
6.Cooling water inlet
7.Cooling water outlet
This on-site temperature control solution significantly improves process uniformity between wafer batches and between chambers.
How it works: Real-time monitoring of the chamber’s reflow wave body temperature is used to dynamically adjust the supply temperature to compensate for changes in heat load during the process.
*On-site temperature control system
*Fast ramp rates significantly improve chamber throughput
*Compressor-free point-of-use system reduces energy consumption by approximately 50%
PELTIER CHILLER FEATURES
They operate completely without refrigerant and require very little maintenance.
Potete fidarvi della nostra fabbrica di refrigeratori portatili
Siamo un fornitore di refrigeratori molto potente con una propria fabbrica e più di 20 anni di esperienza nel campo del controllo della temperatura.
Servizio globale
Ha servito più di 30.000 clienti.
Esportato in più di 20 paesi.
Brevetti di certificazione
Ha ottenuto la certificazione CE, la certificazione SGS e la certificazione ISO.
Servizio post-vendita
Fornire una formazione tecnica completa.
Con soluzioni 24/7.
Team di professionisti
Fondata nel 2010, con 15 anni di esperienza nel settore.
20% dei dipendenti sono tecnici.
Controllo qualità
Ispezione visiva.
Test di prestazione.
Test di sicurezza elettrica.
FAQ
Peltier chiller fast and precise temperature control, able to meet any demanding process requirements
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