ZLJ -40℃~-15℃
Refrigeratore raffreddato ad aria per il processo di produzione dei semiconduttori- Compressore1,5 CV~7 CV
- RefrigentR404A R507C R448
- Gamma di potenza380V 50HZ può scegliere 220V
- Precisione della temperatura±0.5℃
Download dei dati del prodotto
Controllo della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori
Tipo di raffreddamento diretto del refrigeratore
I requisiti di controllo multipli possono essere raggiunti unendo più dispositivi in un armadio più grande.
Utilizzato per piccole superfici di scambio termico e grandi capacità di scambio termico

Dettagli sulla configurazione
| Modello | ZLJ-41.0 | ZLJ-41.5 | ZLJ-42 | ZLJ-43 | ZLJ-44 | ZLJ-46 | ZLJ-48 |
| ZLJ-41.0W | ZLJ-41.5W | ZLJ-42W | ZLJ-43W | ZLJ-44W | ZLJ-46W | ZLJ-48W | |
| Intervallo di temperatura | -40℃~-10℃ | ||||||
| Precisione del controllo della temperatura | ±0.5℃ control evaporation temperature | ||||||
| Metodo di strozzatura | Valvola di espansione elettronica | ||||||
| Controllore | PLC Siemens | ||||||
| Mostra il record | Schermo touch screen da 7 pollici, registrazione della temperatura, della pressione del sistema e di altre informazioni | ||||||
| Componenti principali | Filtro disidratatore Danfoss, elettrovalvola Castor, sensore di pressione Johnson Controls, ventola EBM (raffreddata ad aria), separatore d'olio Danfoss/Emerson, | ||||||
| Compressore | Secop, Taikang, Emerson, Carlisle | ||||||
| Refrigerante | R404A(Opzionale)/ R507C / R448 | ||||||
| Raffreddamento ad alta temperatura | Con la tecnologia di raffreddamento diretto ad alta temperatura a 150 gradi, per raggiungere l'obiettivo di una rapida capacità di raffreddamento durante il funzionamento ad alta temperatura. | ||||||
| Compressore | 7/8HP | 1,5HP | 2HP | 3HP | 4HP | 6HP | 8HP |
| Alimentazione V | 220V 50HZ | 380V 50HZ Può essere personalizzato 220V | |||||
Descrizione del prodotto
Equipped with direct cooling technology at a high temperature of 150℃, meeting the target of rapid cooling ability during high-temperature operation
Il prodotto emette ed evapora direttamente il refrigerante nel sistema di refrigerazione nell'elemento di controllo target (scambiatore di calore) per lo scambio di calore, raffreddando così l'oggetto di controllo target. Rispetto al fluido (gas) trasportato nello scambiatore di calore, la capacità di scambio termico è generalmente più di 5 volte superiore, il che è particolarmente adatto per applicazioni in cui l'area di scambio termico dello scambiatore di calore è piccola ma la capacità di scambio termico è grande.
Il frigorifero a raffreddamento diretto può essere utilizzato anche come cattura di gas; il refrigerante viene fatto passare direttamente nella trappola per evaporare e il gas presente nello spazio viene rapidamente catturato grazie all'effetto di condensazione sulla superficie della trappola.

aspetto

1.Interfaccia refrigerante 2. Maniglia portatile
3. Touch screen 4. Impugnatura portatile
5. Slot per scheda touch screen 6. Uscita aria

Protezione della sicurezza
Utilizzo di interruttori differenziali Schneider e di altre marche, interruttori in sequenza di fase, protezioni di livello per liquidi, protezioni per alta e bassa tensione e protezioni per alte temperature.
Interfaccia di comunicazione dati
La configurazione standard comprende una PT100, un'interfaccia USB e un'interfaccia di comunicazione RS485. È possibile selezionare diverse altre interfacce analogiche e segnali di contatto, nonché l'interfaccia Ethernet.

Processo di candidatura
Ampiamente applicabile ai processi di incisione, deposizione chimica da vapore e deposizione fisica da vapore nelle fabbriche di wafer di semiconduttori.

Incisione dei wafer
Deposizione di vapore chimico
Deposizione fisica da vapore

ETCH
CVD
PVD


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