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refrigeratori a semiconduttore

Compatto, ad alta precisione, ecologico

  • Fixed frequency & variable frequency optional
  • Single channel & multi-channel optional
  • With separate cooling and heating capacity, heat transfer medium flow, etc.
  • Utilizzare la refrigerazione a compressione di vapore o il sistema di scambio termico senza compressore ETCU

LNEYA rappresenta la tecnologia di controllo della temperatura dei liquidi avanzata a livello internazionale, esplora e studia attivamente la simulazione del test di temperatura del sistema di test dei componenti, ha un'ampia direzione della temperatura e un elevato aumento e diminuzione della temperatura, intervallo di temperatura: -100°C~+90°C, precisione del controllo della temperatura fino a: ±0,05℃.

I prodotti includono il controllo della temperatura del liquido al fluoro (minimo -100 gradi) e supportano il controllo continuo della temperatura multicanale. Tutte le apparecchiature vengono sottoposte a test di ammoniaca al 100% e a test di sicurezza al 100% prima di lasciare la fabbrica, per garantire la sicurezza e l'affidabilità del sistema.

Integrates refrigeration heating and temperature control functions. It is mainly used for temperature control in semiconductor FAB processes and packaging and testing processes.

Saving more than 20% energy compared to the old products; it adopts a fully enclosed pipeline design to reduce the demand for heat transfer medium, and at the same time, the heat discharged by the compressor is used for heating within 40℃, so the circulation heating can be achieved without a heater.

FLTZ -25℃~90℃
Thermal Chillers

Cooling capacity 2kW~15kW
Cooling water flow 1.2m³/h~10.2m³/h
Precisione della temperatura ±0,1

FLTZ -45℃~90℃
Refrigeratori a bassa temperatura

Cooling capacity 1kW~8kW
Cooling water flow 1.5m³/h~8m³/h
Precisione della temperatura ±0,1

FLTZ -80℃~+90℃
Recirculating Water Chiller

Cooling capacity 0.6kW~3kW
Cooling water flow 1.8m³/h~6m³/h
Precisione della temperatura ±0,1

FLTZ -100℃~+90℃
Recirculation Chiller

Cooling capacity 1.5kW~3kW
Cooling water flow 50L/min~100L/min 2bar~7bar
Precisione della temperatura ±0,1

La produzione di semiconduttori è un processo con requisiti ambientali estremamente elevati e un rigoroso controllo della temperatura determina le prestazioni del prodotto. I refrigeratori per semiconduttori sono comunemente utilizzati nei processi di confezionamento e collaudo dell'industria dei semiconduttori, nel controllo della temperatura del processo FAB (Fabbricazione di semiconduttori), nel raffreddamento di sensori CMOS/CCD nei sistemi di metrologia a semiconduttore, nel raffreddamento circolante dei sistemi AOI di metrologia a semiconduttore, fornendo un controllo indipendente della temperatura per le pareti laterali della cavità, nell'incisione e deposizione al plasma di biselli, nell'incisione termica a strati atomici di tungsteno, ecc.

Per apparecchiature di prova di invecchiamento

Il sistema di essiccazione termica corrispondente fornisce temperature di raffreddamento e riscaldamento, migliora l'efficienza del test e la qualità dei chip wafer e presenta un errore di precisione della temperatura ridotto.

Per apparecchiature di prova dei chip

Il refrigeratore termico è abbinato alla macchina di prova, con una precisione del controllo della temperatura di ±0,05℃, il che migliora l'efficienza dei test sui chip dell'istituto.

Per la fabbrica di semiconduttori

Il refrigeratore di processo viene utilizzato nelle fabbriche di semiconduttori, con controllo della temperatura di raffreddamento e riscaldamento ad alta precisione, che migliora la velocità di produzione dei wafer e riduce il tasso di scarto.

The semiconductor industry has very strict requirements on temperature control accuracy. Many process steps are extremely sensitive to temperature changes. The performance and quality of the products rely on high-precision semiconductor chillers. LNEYA provides professional thermal management solutions for the semiconductor industry.

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Don’t worry, we have a complete process, and professional technicians will provide you with selection suggestions by asking you relevant questions to help you determine the most suitable chiller configuration for you.

Of course! Our factory is located in Wuxi, China. We currently have a 25,000㎡
factory and another 66,000㎡ new factory is under construction. You are always welcome to visit.

We have passed domestic ISO certification, CE certification, SGS certification, and all the certificates required by the market. We have our own technical patents.

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