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Compatto, ad alta precisione, ecologico
Temp range -100℃~90℃ Temp accuracy ±0.1℃
LNEYA rappresenta la tecnologia di controllo della temperatura dei liquidi avanzata a livello internazionale, esplora e studia attivamente la simulazione del test di temperatura del sistema di test dei componenti, ha un'ampia direzione della temperatura e un elevato aumento e diminuzione della temperatura, intervallo di temperatura: -100°C~+90°C, precisione del controllo della temperatura fino a: ±0,05℃.
high-precision Process chillers Video
Integrates refrigeration heating and temperature control functions. It is mainly used for temperature control in semiconductor FAB processes and packaging and testing processes.
Saving more than 20% energy compared to the old products; it adopts a fully enclosed pipeline design to reduce the demand for heat transfer medium, and at the same time, the heat discharged by the compressor is used for heating within 40℃, so the circulation heating can be achieved without a heater.
Cooling capacity 2kW~15kW
Cooling water flow 1.2m³/h~10.2m³/h
Precisione della temperatura ±0,1
Cooling capacity 1kW~8kW
Cooling water flow 1.5m³/h~8m³/h
Precisione della temperatura ±0,1
Cooling capacity 0.6kW~3kW
Cooling water flow 1.8m³/h~6m³/h
Precisione della temperatura ±0,1
Cooling capacity 1.5kW~3kW
Cooling water flow 50L/min~100L/min 2bar~7bar
Precisione della temperatura ±0,1
Semiconductor Chiller Applications
La produzione di semiconduttori è un processo con requisiti ambientali estremamente elevati e un rigoroso controllo della temperatura determina le prestazioni del prodotto. I refrigeratori per semiconduttori sono comunemente utilizzati nei processi di confezionamento e collaudo dell'industria dei semiconduttori, nel controllo della temperatura del processo FAB (Fabbricazione di semiconduttori), nel raffreddamento di sensori CMOS/CCD nei sistemi di metrologia a semiconduttore, nel raffreddamento circolante dei sistemi AOI di metrologia a semiconduttore, fornendo un controllo indipendente della temperatura per le pareti laterali della cavità, nell'incisione e deposizione al plasma di biselli, nell'incisione termica a strati atomici di tungsteno, ecc.
Il sistema di essiccazione termica corrispondente fornisce temperature di raffreddamento e riscaldamento, migliora l'efficienza del test e la qualità dei chip wafer e presenta un errore di precisione della temperatura ridotto.
Il refrigeratore termico è abbinato alla macchina di prova, con una precisione del controllo della temperatura di ±0,05℃, il che migliora l'efficienza dei test sui chip dell'istituto.
Il refrigeratore di processo viene utilizzato nelle fabbriche di semiconduttori, con controllo della temperatura di raffreddamento e riscaldamento ad alta precisione, che migliora la velocità di produzione dei wafer e riduce il tasso di scarto.
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