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Morsetto termico

-75℃~225℃

LNEYA fornisce mandrini a vuoto da 8 e 12 pollici e piastre fredde quadrate non standard personalizzate, supportando un intervallo di temperatura da -70℃ a +200℃, e può anche personalizzare vari altri intervalli di temperatura, con sensori di temperatura multipli integrati, controllo della temperatura multi-zona, regolazione precisa del FID e controllo della temperatura; supporta raffreddamento diretto, raffreddamento a liquido e raffreddamento ad aria.

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Flatness of the plate ±15um
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Plate temp uniformity ±1℃
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Temperature Accuracy ±0.5℃
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Consumo energetico

-75°C

il più basso

225°C

il più alto

±0.5℃

Precisione del controllo della temperatura

Intervallo di temperatura  -70℃~200℃
(Può essere personalizzato in varie gamme di temperatura)
Uniformità della temperatura 土0.5℃
Tasso di riscaldamento -55℃~+25℃:12 min
-40℃~+25℃:10 min
+25℃~+150℃:20 min
+25℃~+200℃:28 min
+25℃~+300℃:40 min
Velocità di raffreddamento +150℃~+25℃:25 min
+200℃~+25℃:30 min
+300℃~+25℃:40 min
+25℃~0℃:15 min
+25℃~-40℃:35 min
+25℃~-55℃:65 min
Metodo di raffreddamento Sistema di raffreddamento diretto / Sistema di raffreddamento a liquido / Sistema di raffreddamento ad aria
Tipo di adsorbimento del wafer Adsorbimento a vuoto
Dimensione del morsetto φ330*58mm
Alimentazione 220V 50Hz 200~230V AC 50/60Hz, max 16A

Metodo di controllo della temperatura

Sensori di temperatura multipli integrati, controllo della temperatura multi-zona, controllo preciso della temperatura FII

Porta-wafer

Placcato in nichel (oro/non conduttivo), collegamento flessibile con il morsetto, facile da sostituire, planarità del portatore 3μm≤10μm

Comunicazione

Modbus RTu protocol RS485 interface, optional CAN communication bus, Ethernet interface TCP/IP protocol

LNEYA never disappoints users!

Caratteristiche del morsetto a vuoto

La più grande innovazione di Vacc nei test termici è la serie di morsetti a controllo termico, principalmente utilizzati per test delle prestazioni, modellazione, sviluppo di processi, analisi dei difetti di progettazione o guasti IC dei wafer semiconduttori. Permettono cambiamenti rapidi di temperatura e un controllo preciso della stessa. Il sistema dispone del proprio frigorifero, evitando il consumo di azoto liquido, anidride carbonica, ecc., e ogni sistema include un morsetto e un’unità di controllo caldo/freddo.

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LNEYA never disappoints users!

Dimostrazione del sistema di controllo della temperatura ZLTZ con un morsetto a controllo termico:

Monitoraggio della temperatura in tempo reale
Monitoraggio della velocità di raffreddamento in tempo reale
Monitoraggio della pressione in tempo reale

Altri modelli DI REFRIGERATORI A RAFFREDDAMENTO DIRETTO

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sonda termica

Temperature Accuracy ±0.2℃

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chiller a ultra bassa temperatura

temperature accuracy ±1℃

Invia la tua richiesta ora →
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Morsetto a vuoto/termico

temperature accuracy ±0.5℃

Puoi fidarti della nostra fabbrica di chiller portatili

Siamo un fornitore di chiller molto potente con una propria fabbrica e oltre 20 anni di esperienza nel campo del controllo della temperatura

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Servizio globale

Abbiamo servito più di 30.000 clienti.
Esportato in oltre 20 paesi.

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Brevetti di certificazione

Ha ottenuto la certificazione CE, la certificazione SGS e la certificazione ISO.

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Assistenza post-vendita

Fornire una formazione tecnica completa.
Con soluzioni 24/7.

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Team professionale

Fondata nel 2010, con 15 anni di esperienza nel settore.
Il 20% dei dipendenti sono tecnici.

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Controllo qualità

Ispezione visiva
Test di prestazione.
Test di sicurezza elettrica.

Le dimensioni della piastra del morsetto comprendono dischi con diametri di 200 mm e 300 mm e una piastra rettangolare di 150 mm x 200 mm.
Il trattamento superficiale della piattaforma di lavoro è nichelatura elettrolitica, è possibile scegliere anche la placcatura in oro.

No, oltre alla protezione antideflagrante a pressione positiva, possiamo anche personalizzare la protezione antideflagrante isolante che soddisfi gli standard in base alle tue esigenze.

Aumento della temperatura-60℃~+25℃2min
0℃~+25℃2min
+25℃~+220℃6min
Abbassamento della temperatura+220℃~+25℃2min
+25℃~-60℃6min
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