Refrigeratori a semiconduttore

Il dispositivo di controllo della temperatura dei semiconduttori Chiller viene utilizzato principalmente per il controllo preciso della temperatura nei processi di produzione e collaudo dei semiconduttori.

I suoi prodotti includono il controllo della temperatura del liquido fluorurato fluido (minimo -100 ° C), il rapido cambiamento di temperatura del raffreddamento e del riscaldamento del gas, il mandrino a rapido cambiamento di temperatura, la macchina di refrigerazione del gas a bassa temperatura (-120 ° C), l'unità di refrigerazione a raffreddamento diretto (-150 ° C), ecc. L'azienda applica vari algoritmi (PID, PID feedforward e algoritmo ad albero di autocostruzione senza modello) nel sistema per ottenere una risposta rapida e un'elevata precisione di controllo.