Chiller multicanale
Intervallo di temperatura -45℃~90℃, Preciso ±0.1℃, Controllo indipendente
Raffredda più processi con un'unica unità. Affidabile, compatto e a risparmio energetico.
Raffredda più processi con un'unica unità. Affidabile, compatto e a risparmio energetico.

Il chiller multicanale FLTZ può realizzare il controllo della temperatura indipendente per ciascun canale. Possiamo impostare lo stesso o un diverso intervallo di temperatura, la portata del fluido termico ecc. per ciascun canale secondo le vostre esigenze.
I canali non si influenzano a vicenda. Anche se un canale dovesse guastarsi, non influenzerà il funzionamento degli altri canali.
La gamma di chiller multicanale FLTZ include modelli standard a due e tre canali. Per applicazioni speciali, offriamo soluzioni personalizzate su misura per le vostre esigenze specifiche, incluso il numero di canali, i parametri di controllo e le dimensioni dell’apparecchiatura.
Caratteristiche dei chiller multicanale

1. Controllo della temperatura indipendente
I chiller multicanale a frequenza variabile FLTZ hanno la funzione di controllo indipendente della temperatura per ciascun canale. I diversi canali possono essere progettati con differenti intervalli di temperatura, capacità di riscaldamento e raffreddamento e portate del fluido termico. In base all'intervallo di temperatura richiesto, può essere selezionato il raffreddamento a compressione di vapore o il sistema di scambio termico senza compressore ETCU.
2. Controllo centralizzato
I refrigeratori multicanale a frequenza variabile FLTZ possono controllare più sistemi di canali fluidi con un’unica unità principale. È possibile monitorare più canali da remoto tramite un unico sistema. Questo controllo centralizzato non solo migliora l’efficienza operativa, ma ottimizza anche la diagnosi dei guasti e le procedure operative.
3. Risparmio di spazio e riduzione del cablaggio
I diversi canali possono utilizzare serbatoi di espansione, condensatori, sistemi di acqua refrigerata e altro, riducendo in modo efficace la quantità di cablaggio e le dimensioni delle apparecchiature, rendendo i vostri chiller multicanale più compatti e con un ingombro minore.
4. Controllo della temperatura accurato e stabile
I refrigeratori multicanale a frequenza variabile FLTZ hanno una precisione di controllo della temperatura fino a ±0,1℃. Adottano un algoritmo ad albero auto-costruito senza modello e un predittore ad isteresi, controllando contemporaneamente ventilatori a frequenza variabile, valvole di espansione elettroniche e compressori a frequenza variabile, garantendo la stabilità del controllo della temperatura quando il carico termico varia.
5. Risparmio energetico con frequenza variabile
I refrigeratori multicanale a frequenza variabile FLTZ sono dotati di compressore, ventilatore e pompa a frequenza variabile, che possono controllare la velocità dei motori di compressore, ventilatore e pompa rispettivamente in base al carico del vostro equipaggiamento.
6. Riscaldamento del compressore
Quando la temperatura è inferiore a 40℃, i chiller multicanale possono far circolare i gas di scarico caldi attraverso la valvola di espansione, e il fluido circolante può essere riscaldato senza un riscaldatore.
7. Riduzione dei costi di manutenzione della pompa
I chiller adottano una pompa a trasmissione magnetica senza tenuta meccanica, quindi non si verifica il problema di perdite dell’albero, e non è necessario controllare regolarmente le perdite della pompa o sostituire la tenuta meccanica, riducendo notevolmente i costi operativi della pompa.
8. Funzione di comunicazione
I protocolli di comunicazione del chiller di processo multicanale includono l’interfaccia RS485 con protocollo Modbus RTU e l’interfaccia Ethernet con protocollo TCP/IP.

9. Display touch screen intuitivo
Questo chiller di ricircolo multicanale utilizza un touchscreen a colori personalizzato, che non solo visualizza in tempo reale lo stato operativo dell’apparecchiatura, ma consente anche di monitorare in tempo reale condizioni anomale durante il funzionamento. L’interfaccia operativa è semplice e facile da comprendere, e le impostazioni possono essere completate tramite gesti e scorrimenti semplici.


10. Rete di approvvigionamento globale
LNEYA dispone di una rete di mercato completa a livello mondiale, e i suoi chiller sono esportati in oltre 30 paesi e regioni del mondo. Ha agenti in molti paesi come Stati Uniti, Canada, Australia, Russia, Corea del Sud, ecc. Pertanto, siamo in grado di fornire i nostri chiller e servizi di alta qualità in tutto il mondo.
Applicazioni dei chiller multicanale
I raffreddatori multicanale FLTZ sono ampiamente utilizzati nell'industria dei semiconduttori grazie ai loro vantaggi come il controllo preciso della temperatura, la gestione indipendente dei circuiti e il raffreddamento rapido. Gli scenari di applicazione dei raffreddatori per semiconduttori includono la produzione di wafer, i test di imballaggio, la fotolitografia, l'incisione, la deposizione CVD/PVD, i processi di pulizia, ecc.
• Fotolitografia
Il sistema di esposizione, le lenti ottiche, le sorgenti laser e le piastre mascherate della macchina di fotolitografia richiedono un controllo preciso della temperatura per garantire la precisione del motivo.
• Incisione
Durante l'incisione al plasma (RIE, ICP, ecc.), la camera e gli elettrodi devono essere rigorosamente controllati in temperatura per garantire l'uniformità dell'incisione. Il raffreddatore può fornire un ambiente termico stabile per l'attrezzatura di incisione e ridurre le deviazioni del processo.
• Deposizione chimica da vapore (CVD) / Deposizione fisica da vapore (PVD)
Il CVD (come LPCVD, PECVD) e il PVD (come il rivestimento per sputtering) sono utilizzati per il deposito di film sottili, e il controllo della temperatura della camera e del substrato influisce sulla qualità del film.
• Impianto ionico
Il fascio di particelle ad alta energia generato durante l'implantazione ionica può causare temperature locali elevate. Il raffreddatore di processo può rimuovere rapidamente il calore per evitare danni termici al wafer.
• Ricottura
Durante il processo di ricottura, il chiller deve regolare dinamicamente la velocità di raffreddamento per ottimizzare l’efficienza di attivazione degli atomi drogati.
• Pulizia a umido
Viene utilizzato per mantenere l'acqua deionizzata all'interno di un intervallo di temperatura specifico per rimuovere i residui di fotoresist, le contaminazioni metalliche e le particelle.
• Imballaggio dei chip
Nel processo di imballaggio di BGA, CSP, FCBGA, ecc., il controllo della temperatura dei materiali di saldatura e imballaggio influisce sull'affidabilità.
Raffredda più processi con un'unica unità. Affidabile, compatto e a risparmio energetico. Specification
| Modello | FLTZ-203W-2T | |
| Condotto | Canale 1 | Canale 2 |
| Intervallo di temperatura | -20℃~+90℃ | -20℃~+90℃ |
| Capacità di raffreddamento | ±0,1℃(Precisione di controllo della temperatura personalizzabile di ±0,01℃) | |
| Capacità di riscaldamento | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| Portata del mezzo conduttore di calore | 2kW | 2kW |
| Dimensione di collegamento del mezzo conduttore di calore | 20L/min 0.5MPa | 20L/min 0.5MPa |
| Interfaccia di trasferimento di calore | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatura ambiente | 10~35℃ | 10~35℃ |
| Umidità ambientale | 30~70% | 30~70% |
| Temperatura dell'acqua di raffreddamento | 15~20℃ | 15~20℃ |
| Portata dell’acqua di raffreddamento | 20L/min | 20L/min |
| Peso | 400 kg | |
| Dimensioni(cm) | 50*90*160 | |
| Modello | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| Condotto | Canale 1 | Canale 2 |
| Intervallo di temperatura | -45℃~+40℃ | +10℃~+80℃ |
| Capacità di raffreddamento | ±0,1℃(Precisione di controllo della temperatura personalizzabile di ±0,01℃) | |
| Capacità di riscaldamento | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ | 13kW@+10℃ |
| Portata del mezzo conduttore di calore | 2kW | 6kW |
| Dimensione di collegamento del mezzo conduttore di calore | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
| Interfaccia di trasferimento di calore | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatura ambiente | 10~35℃ | 10~35℃ |
| Umidità ambientale | 30~70% | 30~70% |
| Temperatura dell'acqua di raffreddamento | 15~20℃ | 15~20℃ |
| Portata dell’acqua di raffreddamento | 40L/min | 20L/min |
| Peso | 550kg | |
| Dimensioni(cm) | 60*100*185 | |
| Modello | FLTZ-203W/2T sistema duale | FLTZ-305W/2T sistema duale | FLTZ-406W/2T sistema duale | |||
| Intervallo di temperatura | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| Precisione del controllo della temperatura | ±0,1℃(Precisione di controllo della temperatura personalizzabile di ±0,01℃) | |||||
| Portata del mezzo conduttore di calore | 15~45l/min 6bar max | |||||
| Capacità di riscaldamento | 2,5kW | 2,5kW | 2,5kW | 2,5kW | 3,5kW | 3,5kW |
| Capacità di raffreddamento | 3kW @-15℃ | 3kW @-15℃ | 5kW @-15℃ | 5kW @-15℃ | 2.5kW @ -35℃ | 2.5kW @ -35℃ |
| Volume del fluido di circolazione interno | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| Interfaccia acqua di raffreddamento | 50L/min at20℃ | 600L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| Modello | FLTZ-203W/ETCU-008W | ||
| Condotto | Canale 1 | Canale 2 | Canale 3 |
| Intervallo di temperatura | -10℃~+60℃ | +30℃~+80℃ | -10℃~+80℃ |
| Stabilità della temperatura | ±0,1℃(Precisione di controllo della temperatura personalizzabile di ±0,01℃) | ||
| Capacità di raffreddamento | 4kW@-10℃/21kW@+20℃ | 6 kW@+30℃ | 3kW@-10℃ |
| Capacità di riscaldamento | 4kW | 4.5+6kW | 3kW |
| Portata del mezzo conduttore di calore | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
| Dimensione di collegamento del mezzo conduttore di calore | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatura ambiente | 10~35 ℃ | 10~35 ℃ | 10~35 ℃ |
| Umidità ambientale | 30~70% | 30~70% | 30~70% |
| Portata dell’acqua di raffreddamento | 15~20℃ | 15~20℃ | 15~20℃ |
| Temperatura dell'acqua di raffreddamento | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Interruttore automatico | 100A | ||
| Peso | 600 kg | ||
| Dimensioni(cm) | 60*100*170 | ||
| Modello | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| Condotto | Canale 1 | Canale 2 | Canale 3 |
| Intervallo di temperatura | -20℃~+50℃ | +30℃~+100℃ | +30℃~+40℃ |
| Stabilità della temperatura | ±0,1℃(Precisione di controllo della temperatura personalizzabile di ±0,01℃) | ||
| Capacità di raffreddamento | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| Capacità di riscaldamento | 2kW | 6kW | Pump Heat Loss |
| Portata del mezzo conduttore di calore | 30L/min 0.85MPa | 30L/min 0.85MPa | 20L/min 0.8MPa |
| Dimensione di collegamento del mezzo conduttore di calore | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatura ambiente | 10~35 ℃ | 10~35 ℃ | 10~35 ℃ |
| Umidità ambientale | 30~70% | 30~70% | 30~70% |
| Portata dell’acqua di raffreddamento | 15~20℃ | 15~20℃ | 15~20℃ |
| Temperatura dell'acqua di raffreddamento | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Interruttore automatico | 75A | ||
| Peso | 600 kg | ||
| Dimensioni(cm) | 60*100*170 | ||
Prodotti a canale singolo correlati ai chiller multicanale
Quando è necessario un chiller multicanale FLTZ?
Se hai bisogno di un controllo della temperatura indipendente per più dispositivi o processi diversi e non vuoi acquistare più raffreddatori indipendenti, i raffreddatori multicanale FLTZ sono una scelta molto ideale.
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perché scegliere LNEYA?
LNEYA è stata fondata a Wuxi, Cina, nel 2010. L’azienda dispone attualmente di un’area di stabilimento di 25.000㎡
con una produzione annua di 5.000 unità e un valore di produzione superiore a 300 milioni per due anni consecutivi.
Dalla sua fondazione, LNEYA si è concentrata sulla fornitura di servizi di controllo della temperatura alta e bassa, ultrabassa e precisa per i settori dei semiconduttori, chimica farmaceutica, nuove energie, aerospaziale e altri.
Abbiamo servito oltre 30.000 clienti in tutto il mondo e possediamo più di 130 brevetti.
I nostri chiller sono stati selezionati da oltre 100 progetti di laboratori universitari in tutto il mondo ed esportati in più di 20 paesi. Abbiamo agenti in vari paesi e regioni europee.

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