Refrigeratori industriali LNEYA Fornitore -
Refrigeratore a frequenza variabile FLTZ per l'industria dei semiconduttori
APPLICAZIONI
Semiconductor temperature control unit Chiller is mainly used for precise temperature control in the semiconductor production process and testing process. The company applies multiple algorithms (PID, feedforward PID, model-free self-building algorithm) in the system to achieve fast system response and high control accuracy.
Parametri del prodotto
FLTZ 5℃～90℃
| Modello | 002 002W |
003 003W |
004 004W |
006 006W |
008 008W |
010 010W |
015 015W |
| Intervallo di temperatura | 5℃～90℃ | ||||||
| Cooling capacity @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| Internal circulating fluid volume | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volume del vaso di espansione | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Refrigerante | R410A | ||||||
| Refrigerating medium | Silicone oil, fluorinated liquid, polyol aqueous solution, DI, etc. (DI temp needs to be controlled above 10 ℃) | ||||||
| Dimensioni del collegamento | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Cooling water connection size | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Flusso di acqua di raffreddamento @20℃ | 1,5 m³/h | 2m³/h | 2,5 m³/h | 4m³/h | 4,5 m³/h | 5,6 m³/h | 9m³/h |
| Dimensioni cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
FLTZ -25℃～90℃
| Modello | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
| Intervallo di temperatura | -25℃～90℃ | ||||||
| Precisione del controllo della temperatura | ±0,05℃（Temperatura di uscita a stato stazionario） | ||||||
| Controllo del flusso | 10～25L/min | 15～45L/min | 25～75L/min | ||||
| Cooling capacity @-15℃ | 2kW | 3kW | 3,8kW | 6kW | 7.6kW | 10kW | 15kW |
| Internal circulating fluid volume | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volume del vaso di espansione | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Refrigerante | R404A | ||||||
| Refrigerating medium | Silicone oil, fluorinated liquid, glycol solution etc | ||||||
| Dimensioni del collegamento | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Cooling water connection size | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Flusso di acqua di raffreddamento @20℃ | 1,2 m³/H | 1,6 m³/H | 2,6 m³/H | 3,6 m³/H | 5,5 m³/H | 7m³/H | 10,2 m³/H |
| Dimensioni cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
| Process temperature control | The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm |
||||||
FLTZ -45℃～90℃
| Modello | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
| Intervallo di temperatura | -45℃～90℃ | ||||||
| Precisione del controllo della temperatura | ±0,05℃（Temperatura di uscita a stato stazionario） | ||||||
| Controllo del flusso | 10～25L/min 5bar max | 15～45L/min 5bar max | 25～75L/min 5bar max | ||||
| Riscaldamento | Using compressor heating, prevent condenser frosting technology | ||||||
| Cooling capacity @-35℃ | 1kW | 1,4 kW | 1,8kW | 2,5kW | 3,3 kW | 5kW | 8kW |
| Internal circulating fluid volume | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volume del vaso di espansione | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Refrigerante | R404A | ||||||
| Refrigerating medium | Silicone oil, fluorinated liquid, glycol solution etc | ||||||
| Dimensioni del collegamento | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Cooling water connection size | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Flusso di acqua di raffreddamento @20℃ | 1,5m³/H | 2,4 m³/H | 3,5 m³/H | 5m³/H | 5,5 m³/H | 6m³/H | 8m³/H |
| Dimensioni cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*500*1500 | 1080*500*1500 |
| Process temperature control | The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm |
||||||
FLTZ -80℃～+90℃
| Modello | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| Intervallo di temperatura | -80℃～+90℃ | ||||
| Precisione del controllo della temperatura | ±0,05℃（Temperatura di uscita a stato stazionario） | ||||
| Controllo del flusso | 7～25L/min 5bar max | 12～45L/min 6bar max | |||
| Cooling capacityat-70℃ | 0,6kW | 1kW | 1,5kW | 2kW | 3kW |
| Heating capacity | 2kW | 2kW | 2kW | 3,5kW | 3,5kW |
| Internal circulating fluid volume | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| Volume del vaso di espansione | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| Heat-conduction medium | Liquido fluorurato | ||||
| Dimensioni del collegamento | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Cooling water connection size | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Cooling water@20℃ | 1,8m3/h | 2,5m3/h | 3m3/h | 5m3/h | 6m3/h |
| Circuit breaker | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| Dimensioni cm | 550*700*1750 | 650*850*1850 | 700*850*1850 | 700*850*1850 | 800*1200*1850 |
| Process temperature control | The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm |
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FLTZ -100℃～+90℃
| Modello | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
| Intervallo di temperatura | -100℃～+90℃ | |
| Precisione del controllo della temperatura | ±0,05℃（Temperatura di uscita a stato stazionario） | |
| Controllo del flusso | 7～25L/min | 12～45L/min |
| Cooling capacityat-90℃ | 1,5kW | 3kW |
| Heating capacity | 3,5kW | 5,5kW |
| Internal circulating fluid volume | 5L | 8L |
| Volume del vaso di espansione | 10L | 15L |
| Heat-conduction medium | Liquido fluorurato | |
| Dimensioni del collegamento | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Cooling water connection size | ZG3/4 | ZG1 |
| Cooling water@20℃ | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
| Circuit breaker | 32A | 63A |
| Process temperature control | The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm |
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Vantaggi del prodotto
- Risultati efficienti in termini di stabilità e ripetibilità della produzione;
- Utilizzo di scambiatori di calore a piastre e riscaldatori in tubazione per migliorare i tassi di raffreddamento e riscaldamento;
- Intervallo di temperatura molto ampio, senza necessità di sostituire il mezzo liquido;
- Sistema completamente chiuso, che prolunga la durata dei liquidi termoconduttivi;
- Adottando una pompa a trascinamento magnetico, non vi è alcun problema di perdita della tenuta dell'albero;
- Tecnologia di raffreddamento ad alta temperatura, avvia direttamente il compressore per raffreddarsi a 300 ℃.
La pompa a frequenza variabile può regolare la pressione e la portata idraulica in circolazione
segnale di uscita del cliente
Funzione di comunicazione
APPLICAZIONI
Unità di controllo della temperatura del processo FAB dei semiconduttori
La produzione di semiconduttori è un processo con requisiti ambientali estremamente elevati e molte fasi del processo sono molto sensibili alla temperatura.
Il controllo preciso della temperatura può garantire uno spessore uniforme e una composizione accurata dei film depositati, migliorando così le prestazioni e la resa dei chip.
per il processo di confezionamento e collaudo dei semiconduttori
Il processo di confezionamento e collaudo dei semiconduttori è un anello fondamentale del processo di produzione dei semiconduttori, che comprende il collaudo dei wafer, il confezionamento dei chip e il collaudo post-confezionamento. Questo processo richiede non solo alta precisione e affidabilità, ma anche un rigoroso controllo della temperatura per garantire la qualità e le prestazioni del prodotto.
Come i refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione delle apparecchiature Fab.
Raffreddamento dei sensori CMOS/CCD nei sistemi di metrologia dei semiconduttori.
Refrigeratore a ricircolo per il sistema AOI di misurazione dei semiconduttori.
Raffreddatore a canale singolo raffreddato ad aria, progettato principalmente per le macchine di incisione. Viene utilizzato per fornire un controllo indipendente della temperatura delle pareti laterali della camera.
Utilizzato per incisione e deposizione di smussi al plasma; incisione termica di strati atomici di tungsteno metallico.
LNEYA fornisce servizi personalizzati di refrigerazione
dimensioni personalizzate dei refrigeratori
Che si tratti di refrigeratori portatili, compatti, grandi o piccoli, possiamo progettarli su misura in base alle vostre esigenze. Indipendentemente dal numero di tonnellate di refrigeratori di cui avete bisogno, possiamo creare la soluzione migliore.
tipi di refrigeratori personalizzati
Forniamo refrigeratori di vari tipi di refrigerazione, tra cui, ma non solo, refrigeratori raffreddati ad aria, ad acqua e a condensazione evaporativa. Indipendentemente dal tipo di compressore di refrigerazione, possiamo progettarlo in base alle vostre esigenze.
intervalli di temperatura personalizzati
Possiamo creare una soluzione personalizzata per temperature da -150℃ a +350℃. Intervalli di temperatura personalizzati per settori specifici.
tensione del refrigeratore personalizzata
Personalizzare la tensione e la fase del refrigeratore in base alle proprie esigenze. Opzionale 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, ecc.
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